VDE e.V. (Ed.)

MikroSystemTechnik Kongress 2021

Mikroelektronik / Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen Innovative Produkte für zukunftsfähige Märkte 08. – 10. November 2021, Stuttgart-Ludwigsburg

2021, 758 pages, 140 x 124 mm, Slimlinebox, CD-Rom
ISBN 978-3-8007-5656-8, e-book: ISBN 978-3-8007-5657-5
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Content Foreword

Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik sind die Schlüsseltechnologien unserer Wirtschaftsbranchen, die es zu sichern und weiterzuentwickeln gilt.

Dazu bedarf es nicht nur erfolgreicher, großer und mittelständischer Industrieunternehmen, sondern auch spezialisierter und auf ihren Fachgebieten international führender Forschungsinstitute, exzellenter Ausbildungen an Universitäten und Hochschulen sowie gezielter und nachhaltiger Förderung durch die öffentliche Hand. Der MikroSystemTechnik Kongress ist seit jeher die größte nationale Fachkonferenz in der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik, die diese Stakeholders in einen regen Austausch bringt – mit dem Ziel, den nationalen Stand der Technik zu beleuchten und zukünftige Bedarfe und Initiativen abzustimmen und auf den Weg zu bringen. So soll es auch im Konferenzjahr 2021 wieder sein – mehr noch, in Ludwigsburg wollen wir nach der aus der Corona Pandemie 2020 verursachten Wirtschaftskrise aufzeigen, wie bedeutsam diese Schlüsseltechnologien für unsere Wirtschaftskraft und unser Gemeinwohl sind und welche Zukunftschancen sie bieten.

Wir heißen Sie hierzu herzlich willkommen in Ludwigsburg bei Stuttgart, der Hauptstadt des Landes Baden-Württemberg. Im Großraum Stuttgart haben nicht nur Weltmarktführer der Mikrosystemtechnik und des halbleitertechnischen Gerätebaus ihren Sitz, sondern hier sind vor allem auch viele der international führenden mittelständischen Unternehmen ansässig. Viele dieser Akteure engagieren sich im Netzwerk MicroTEC Südwest e.V., das sich in den Jahren 2010-2015 im Rahmen der BMBF Spitzencluster Förderung etablieren konnte.

Profitieren auch Sie von einem intensiven Austausch mit Wissenschaftlern und Ingenieuren aller Erfahrungsstufen aus den erfolgreichen Unternehmen und den exzellenten Forschungseinrichtungen in der Mikroelektronik und der Mikrosystemtechnik in Deutschland ebenso wie mit Vertretern der involvierten Ministerien des Bundes und des Landes.

Viele der Schwerpunkte aus 2019 setzen sich 2021 fort. Die Digitalisierung erhält nach der Corona Krise 2020 einen noch höheren Stellenwert bei dezentralen Arbeitsprozessen und bei der Weiterentwicklung der Megathemen Internet der Dinge (Internet of Things), Industrie 4.0 und Künstliche Intelligenz (KI). Die Photonik und die optischen Technologien führen dabei nicht nur zu einer dramatischen Erhöhung der verfügbaren Datenraten, sondern sie ermöglichen zudem neue Anwendungen in der Mikrosystemtechnik von der Sensorik/Aktorik bis hin zu den Quantentechnologien. Die Medizintechnik profitiert ebenfalls maßgeblich von den Fortschritten in der Mikrosystemtechnik durch die Entwicklung neuer Lösungen in der Diagnostik, Point-of-Care und bei Implantaten.
Der VDE – Verband der Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik e.V. ist einer der großen europäischen Verbände für Branchen und Berufe der Elektro- und Informationstechnik. Eine internationale Experten-Plattform für Wissenschaft, Normung und Produktprüfung – interdisziplinär, eng verflochten, und einmalig auf der Welt. Eine geballte Konzentration an Erfahrung, Marktkenntnissen und technologischem Know-how.

1

Film transfer from thin films to metal surfaces using sol-gels, self-assembling monolayers and water glass

Authors:
Basten, Robin G.; Zawacka, Aleksandra M.; Bengsch, Sebastian; Prediger, Maren S. ; Wurz, Marc Christopher

2

Vapor HF Etching Based Surface Micromachining Process for Fabricating a Micromechanical Sterilization Cycle Counter

Authors:
Vora, Riddhesh; Spies, Irina; Hoffmann, Daniel; Trautner, Heiko; Blattert, Christoph; Dehe, Alfons

3

Efficient and cost-effective manufacturing of nanostructures with high aspect ratios using Soft UV-Nanoimprint Lithography with bi- and trilayer resist systems

Authors:
Handte, Thomas; Scheller, Nicolas; Dittrich, Lars; Thesen, Manue W.; Messerschmidt, Martin; Sinzinger, Stefan

4

Hybrider 3D-Biodruck zur künstlichen Herstellung von Knochen

Authors:
Koch, Fritz; Troendle, Kevin; Finkenzeller, Guenter; Rukavina, Patrick; Zengerle, Roland; Koltay, Peter; Zimmermann, Stefan

5

6

Spritzguss von transparentem mikrostrukturiertem Quarzglas

Authors:
Mader, Markus; Kotz-Helmer, Frederik; Rapp, Bastian E.

7

Vergleich der Plasmastrukturierbarkeit von Materialien mit sehr geringer thermischer Ausdehnung

Authors:
Weigel, Christoph; Phi, Hai Binh; Hoffmann, Martin; Sinzinger, Stefan; Strehle, Steffen

8

GlaRA – Glasinterposer-Technologie zur Realisierung hochkompakter Elektroniksysteme für Hochfrequenzanwendungen (160 GHz)

Authors:
Kroehnert, Kevin; Woehrmann, Markus; Schiffer, Michael; Friedrich, Georg; Starukhin, Dzmitry; Schneider-Ramelow, Martin; Mayer, Winfried; Chaloun, Tobias; Galler, Thomas; Waldschmidt, Christian; Schulz-Ruhtenberg, Malte; Ambrosius, Norbert; Hansen, Ulli

9

10

3D-gedruckte PEEK Formeinsätze für das Mikropulverspritzgießen

Authors:
Hanemann, Thomas; Antusch, Steffen; Baumgaertner, Siegfried; Bonk, Simon; Klein, Alexander; Walter, Heinz; Wilhelm, David

11

Innovative Herstellung flexibler Folienleiterplatten durch Flip-Chip Bonden gedünnter Chips mittels Nanodrähten

Authors:
Albrecht, Bjoern; Passlack, Ulrike; Harendt, Christine; Weissenborn, Florian; Quednau, Sebastian; Birlem, Olav; Burghartz, Joachim

12

CuO/Al reactive multilayers as internal heat source for wafer bonding

Authors:
Vogel, Klaus; Roscher, Frank; Braun, Silvia; Zimmermann, Sven; Wiemer, Maik; Kuhn, Harald

13

Combining MEMS with ASIC and raw wafer production

Authors:
Majoni, Stefan; Stahl, Heiko

14

Bestimmung der Himmelsrichtung mittels Präzisions-MEMS-Gyroskop in einem kompakten Gerät

Authors:
Buelz, Daniel; Weidlich, Sebastian; Konietzka, Stefan; Motl, Tim; Forke, Roman; Hiller, Karla; Kuhn, Harald

15

Optimization of a High-g Acceleration Sensor for Crash-test Application

Authors:
Srivastava, Ananya; Rockstroh, Jan; Dehe, Alfons

16

Low-Redundancy Realization of Safety-Critical Automotive Functions

Authors:
Barner, Simon; Matthes, Stefan; Dormann, Holger; Schingale, Angelika; Kaulfersch, Eberhard; Eichhorst, Michael; Scheiter, Lutz; Schmidt, Holger; Gebert, Juergen

17

Solid-State LiDAR: MEMS Spiegel für die Umgebungssensorik zum sicheren autonomen Fahren

Authors:
Grahmann, Jan; Schroedter, Richard; Kiethe, Oliver; Todt, Ulrich; Blasl, Martin

18

19

Sensornahe KI - Systembaukasten erlaubt ressourceneffiziente Anpassung der KI-Hardware

Authors:
Burwick, Christian; Deuble, Thomas; Epple, Steffen

20

21

Nachhaltigkeit in der Elektronik – Eine Bestandsaufnahme

Authors:
Kerbusch, Jochen; Gaass, Markus; Fiehler, Vera; Wenzel, Marita; Zehm, Antje

22

Speichernde Sensorkonzepte mit in-memory-Computing, ganz ohne elektrische Hilfsenergie

Authors:
Hoffmann, Martin; Schmitt, Philip; Zimmermann, Sven; Stöckel, Chris; Forke, Roman; Geneiß, Volker; Wittemeier, S.; Hedayat, Christian; Hilleringmann, Ulrich; Kuhn, Harald

23

24

Robuster, thermischer Strömungs- und Konzentrationssensor basierend auf Anemometrie und der 3Omega-Methode

Authors:
Bernhardsgrütter, Ralf; Hepp, Christoph; Schmitt, Katrin; Wöllenstein, Jürgen

25

Damped silicon microprobes for high-speed roughness measurements

Authors:
Fahrbach, Michael; Ombati Nyang'au, Wilson; Domanov, Oleg; Schwalb, Christian H.; Xu, Min; Li, Zhi; Kuhlmann, Christian; Brand, Uwe; Peiner, Erwin

26

How data-driven approaches can increase the accuracy of LED reliability predictions

Authors:
Benkner, Simon; Klir, Stefan; Herzog, Alexander; Khanh, Tran Quoc

27

Analysis of volatile compounds by nanoelectromechanical photothermal infrared spectroscopy with picogram sensitivity

Authors:
Luhmann, Niklas; Pliessnig, Raphael; Willert, Christoph; Lafleur, Josiane P.; Schmid, Silvan

28

29

Analysis of Inertial Sensor Frontend Inherent ESD Immunity

Authors:
Elsobky, Mourad; Leube, Carsten; Alpert, Thomas; Mayer, Thomas

30

31

Microoptics for flat display backlighting

Authors:
Streppel, Ulrich; Widholz, Georg

32

Infrarot-Detektoren in "Ge-on-Si"-Technologie für Spektrometer- und Nachtsichtkamera-Anwendungen

Authors:
Kaschel, Mathias; Yu, Zili; Epple, Steffen; Burghartz, Joachim; Oehme, Michael; Schulze, Jörg

33

Fabrication of integrated poly-silicon wave guides for mid-infrared absorption spectroscopy using the evanescent field

Authors:
Stocker, Gerald; Consani, Cristina; Thakkar, Pooja; Tortschanoff, Andreas; Fleury, Clement; Puehringer, Gerald; Jannesari, Reyhaneh; Saeidi, Parviz; Grille, Thomas; Kovatsch, Christoph; Bartl, Ulf; Aschauer, Elmar; Jakoby, Bernhard

34

Mikromechanisch strukturierter, CMOS-kompatibler pyroelektrischer Detektor auf der Basis von dotiertem HfO2 in Trenchzellen

Authors:
Mutschall, Doris; Kaiser, Alena; Lehmkau, Robin; Ebermann, Martin; Neumann, Norbert; Mart, Clemens; Eßlinger, Sophia; Neuber, Markus; Weinreich, Wenke; Hiller, Karla; Seiler, Jan; Großmann, Toni D.; Shaporin, Alexey; Günther, Wolfgang

35

Pressure Sensor Catheter based on piezoelectric actuated Aluminum Nitride Membrane and Fiber Tip Fabry-Perot-Interferometer

Authors:
Friedemann, Marvin; Voigt, Sebastian; Kriebel, David; Meinel, Katja; Stoeckel, Chris; Hecker, Raoul; Hiller, Karla; Mehner, Jan

36

37

Precise position determination with digital sensor arrays

Authors:
Voss, Andreas; Bartos, Axel

38

Monolithic integration of in-plane hybrid III-V/Si photonic devices

Authors:
Scherrer, Markus; Tiwari, Preksha; Trivino, Noelia Vico; Mauthe, Svenja; Wen, Pengyan; Schmid, Heinz; Moselund, Kirsten Emilie

39

40

Integration von Siliziumdurchkontaktierungen (TSV) als via-last Ansatz in dauerhaft gebondete Waferverbünde

Authors:
Berthold, Teresa; Tavassolizadeh, Ali; Kuhnt, Christian; Weidner, Thomas; Mehner, Hannes

41

42

Chip Integration in Thin Film Sensor Flex – Technology Developed within the “FLEXMAX” project

Authors:
Kaiser, Alexander; Matej, Paul; Herbort, Christian; Lang, Robert; Pursche, Oliver; Ruess, Karin; Keim, Uwe; Hanka, Kevin; Abel, Martin; Passlack, Ulrike; Harendt, Christine; Burg, Benjamin; Goettsche, Thorsten; Zhou, Maolei; Dietzel, Andreas

43

Development of a Polyimid Membrane for Electromagnetic Middle- Ear Actuators

Authors:
Glukhovskoy, Anatoly; Mueller, Eileen; Prediger, Maren S.; Maier, Hannes; Wurz, Marc Christopher

44

Development of a hybrid microsystem for acquisition of sterilization cycles

Authors:
Hoffmann, Daniel; Trautner, Heiko; Spieth, Sven; Herrlich, Simon; Pagel, Kenny; Dehe, Alfons

45

46

An Integrated FOPP Detector for Β Cell Function Monitoring

Authors:
Yu, Zili; Scherjon, Cor; Kraushaar, Udo; von Metzen, Rene P.; Burghartz, Joachim N.

47

Magnetoresistive Sensoren für die patientennahe Labordiagnostik

Authors:
Hölzl, Joachim; Slatter, Rolf

48

49

Fertigung und Charakterisierung eines drahtlosen Retina-Implantats auf flexiblen Substraten

Authors:
Knoll, Thorsten; Velten, Thomas; Stracke, Frank; Le Harzic, Ronan; Olsommer, Yves; Meiser, Ina; Jaeger, Tino; Rammensee, Michael; Kurz, Oliver; Klesy, Stephan; Januschowski, Kai; Schulz, Andre; Szurman, Peter

50

Integrierte optoelektronische Systeme basierend auf hochempfindlichen Einzelphotonendetektoren für optogenetische Anwendungen

Authors:
Singer, Julian; Geläschus, Anton; Schuster, Christian; Trieu, Hoc Khiem; Kuhl, Matthias

51

“Safety Valve”: A Metal-Based, Self-Securing Switchable Microvalve for Medical Applications

Authors:
Durasiewicz, Claudia Patricia; Hoelzl, Wolfgang; Schrag, Gabriele

52

Microfluidic organ-on-chip system for monitoring 3D breast cancer stem cell cultures

Authors:
Dornhof, Johannes; Kieninger, Jochen; Muralidharan, Harshini; Maurer, Jochen; Urban, Gerald A.; Weltin, Andreas

53

Rapid-Prototyping-Plattform für μ-Total-Analysesysteme

Authors:
Serout, Anne; Podbiel, Daniel; Bott, Hannah; Kadic, Samir; Hoffmann, Jochen; Laermer, Franz

54

Hoch-sensitive und vollautomatisierte Quantifizierung von zirkulierenden epithelialen Tumorzellen aus Vollblut

Authors:
Kadic, Samir; Du, Tianxing; Roth, Astrid; Dörr, Aaron; Knapp, Michael; Hoffmann, Jochen; Serout, Anne; Strehle, Steffen; Lärmer, Franz

55

Whispering Gallery Resonators with diffractive coupling elements

Authors:
Behrens, Arne; Fesser, Patrick; Bosch, Marti; Hentschel, Martina; Sinzinger, Stefan

56

Miniaturized Infrared lenses by wafer bonding technologies

Authors:
Kulkarni, Amit; Laske, Norman; Schulz-Walsemann, Arne-Veit; Kuehl, Anja; Hagge, Juergen; Meyenburg, Ingo; Quenzer, Hans-Joachim

57

Athermal electro-optic trimmable waveguide design

Authors:
Vermeer, Matthias Leander; Alhareeb, Nadeem Khargan; Trieu, Hoc Khiem; Lipka, Timo

58

Design of a 3D Compact Hybrid Photonic Crystal Surface Plasmon Taper

Authors:
Jannesari, Reyhaneh; Stocker, G.; Grille, T.; Tortschanoff, A.; Jakoby, B.

59

Fabrication and Characterization of Sensitive Piled Semiconductor Diodes as Mid-Infrared Pyro-Detectors

Authors:
Kovatsch, Christoph; Bartl, Ulf; Grille, Thomas; Fant, Andrea; Zangl, Hubert; Ostermann, T.; Aschauer, Elmar; Stocker, Gerd

60

GaN-based pressure sensor for harsh environments with on-chip temperature compensation

Authors:
Moser, Matthias; Scherjon, Cor; Pradhan, Mamta; Alomari, Mohammed; Burghartz, Joachim

61

Mechanical cooling of AFM cantilevers

Authors:
Ignat, Ioan; Schuster, Bernhard; Hafner, Jonas; Kwon, MnHee; Platz, Daniel; Schmid, Ulrich

62

Breitbandiger Transceiver ASIC für heteronukleare NMR-Spektroskopie

Authors:
Dreyer, Frederik; Krüger, Daniel; Anders, Jens

63

Microfabricated 2D array of ion traps

Authors:
Dietl, Matthias; Auchter, Silke; Milow, Ida; Roessler, Clemens; Blank, Oliver; Valentini, Marco; Holz, Philip; Schindler, Philipp; Monz, Thomas; Blatt, Rainer

64

Mechanischer 3-Bit Digital-Analog-Wandler (DAC) mit großem Stellweg

Authors:
Schmitt, Lisa; Schmitt, Philip; Hoffmann, Martin

65

Miniaturized annular arrays for focused ultrasound

Authors:
Krenkel, Marcel; Koch, Sandro G.; Reitz, Sven; Scharf, Patrick; Ernst, Daniel; Wolf, Mario

66

Kick & Catch: elektrostatisches Rotieren einer Kugel

Authors:
Farny, Mario; Hoffmann, Martin

67

MEMS for characterization of thermal conductivity in thin films and two-dimensional materials

Authors:
Jiang, Felix; Ryu, Meguya; Morikawa, Junko; Pachauri, Vivek; Ingebrandt, Sven; Vu, Xuan Thang

68

Origami-Basierte Mikroaktorik

Authors:
Seigner, Lena; Bezsmertna, Olha; Fähler, Sebastian; Kohl, Manfred

69

Quality Factors of MEMS Plate Modes in Fluids

Authors:
Gesing, Andre; Platz, Daniel; Schmid, Ulrich

70

Cell transport using piezoelectric micro diaphragm pumps

Authors:
Bussmann, Agnes; Thalhofer, Thomas; Daum, Leopold; Richter, Martin; Hayden, Oliver

71

Feldexpositionskonformer induktiver 13,56 MHz-Energie-Harvester für tief implantierte medizinische Systeme

Authors:
Faragalla, Mohamed; Krautschneider, Wolfgang; Kuhl, Matthias

72

Performance of magnetically driven MEMS piezoelectric energy harvester and its application as a transducer for a near zero-power wake-up

Authors:
Dankwort, Torben; Gojdka, Bjoern; Nowak, Marc Alexander; Bodduluri, Mani Teja; Gruenzig, Sven; Ahmed, Minhaz; Lofink, Fabian

73

Mikrogefertigter Multi-Frequenz-Ultraschallwandler für die Implantat-zu-Implantat-Kommunikation

Authors:
Velten, Thomas; Oevermann, Jorge; Weber, Peter; Sossalla, Adam; Knoll, Thorsten; Kebkal, Konstantin; Bannasch, Rudolf

74

Einstellbare Prismen mit Glas-Luft Interface: Ein Vergleich verschiedener Aktuierungsmethoden

Authors:
Weber, Pascal M.; Lemke, Florian; Wapler, Matthias C.; Wallrabe, Ulrike

75

MEMS Speaker Modeling

Authors:
Clerici, Andrea Rusconi

76

Direktabgeschiedene Dünnfilm-Dehnungsmessstreifen für erhöhte Temperaturen

Authors:
Ottermann, Rico; Klaas, Daniel; Dencker, Folke; Hoheisel, Dominik; Rottengatter, Peter; Kruspe, Thomas; Wurz, Marc Christopher

77

Mikromechanischer Konstant-Kraft Taster zur Stimulation und Analyse von Zellen

Authors:
Thewes, Anna Christina; Schmitt, Philip; Löhler, Philipp; Hoffmann, Martin

78

79

Transparente Fotodiode für ein Stehende-Wellen-Interferometer

Authors:
Moeller, Christian; Klein, Thomas; Brandel, Julia; Winzer, Andreas T.; Ortlepp, Thomas

80

Piezoceramic Mounting Process and Adapted Pretension for Improved Microvalve Functionality and Reliability

Authors:
Durasiewicz, Claudia Patricia; Guentner, Sophia; Kibler, Sebastian

81

Standardization of test particles by trial-based approximation of the damaging potential of manufacturing swarfs

Authors:
Piotter, Volker; Plewa, Klaus; Klein, Alexander; Brag, Patrick; Hertzfeldt, Mirko; Umbach, Sascha

82

Hochdynamischer linearer CMOS Bildsensor auf Basis von Selbst- Reset Pixelzellen und Pinned-Photodioden

Authors:
Hirsch, Stefan; Strobel, Markus; Scherjon, Cor; Yu, Zili; Zhang, Yipin; Burghartz, Joachim

83

Herstellung von TXRF-Kalibrierproben mittels Atomlagenabscheidung (ALD) und Fotolithografie

Authors:
Schulz, Norbert; Zolotaryov, Andriy; Trieu, Hoc Khiem

84

Miniaturisierte Einkoppeloptik für SNSPDs

Authors:
Möller, Christian; Schildhauer, Tony; Winzer, Andreas T.; Ortlepp, Thomas

85

Miniaturisierung hochsensitiver, hitzdrahtbasierter Massenflusssensoren mit Hilfe von Halbleiterfertigungstechnologie

Authors:
Seidl, Martin; Schrag, Gabriele; Tumpold, David; Klein, Wolfgang

86

A novel concept for piezoelectric actuation of tunable silicone membrane lenses

Authors:
Bettaswamy, Hitesh Gowda; Wallrabe, Ulrike

87

88

Development of a Fresnel mirror with tunable phase shift and mirror angle

Authors:
Bruno, Binal Poyyathuruthy; Grunwald, Ruediger; Wallrabe, Ulrike

89

On the Design of Pseudo Resistors in Biomedical CMOS Circuits

Authors:
Lausen, Timo; Jusko, Benjamin; Kiyan, Tuba; Keil, Stefan; Thewes, Roland

90

Dielectric Properties of Plasma Oxides for Microfabricated Ion Traps

Authors:
Zesar, Alexander; Schoenherr, Helmut; Sieberer, Michael; Seebacher, David; Roessler, Clemens; Schueppert, Klemens; Aschauer, Elmar; Hadley, Peter

91

Two-Photon Lithography Parameter Study for Manufacturing of Acoustic Metamaterials on MEMS

Authors:
Schweiger, Severin; Melnikov, Anton; Koch, Sandro G.; Schenk, Harald

92

Hybride Packaging-Lösung für Elektrochemische Sensoren

Authors:
Steinmaßl, Matthias; Boudaden, Jamila; Hell, Waltraud; Kutter, Christoph

93

Additive Fertigung, Laserdirektstrukturierung und chemische Metallisierung von Duroplasten: Material- und Prozessentwicklung

Authors:
Pfeifer, Christoph; Vieten, Tobias; Jung, Judith; Gläser, Kerstin; Hanemann, Thomas

94

95

Qualification of the Barrier Properties of ALD-coated Polymer Films with Humidity Sensors

Authors:
Simon, Nicolai; Passlack, Ulrike; Stieglitz, Thomas; Blendinger, Felix; Bucher, Volker

96

Thermisch leitfähige Polymer-Keramik-Komposite für den Tintenstrahldruck

Authors:
Graf, Dennis; Jung, Judith; Hanemann, Thomas

97

Bleifreie Bariumtitanat-Piezokeramik dargestellt durch elektrophoretische Abscheidung auf Graphitelektroden

Authors:
Ketterer, Ines; Yang, Cheng-Kang; Frey, Marco; Wapler, Matthias; Hanemann, Thomas

98

Evaluation of a low-temperature fabrication technology for silicon-ceramic composite substrates

Authors:
Mohr-Weidenfeller, Laura; Gropp, Sebastian; Azizy, Raschid; Mueller, Bjoern; Guenther-Mueller, Sarah; Bucklitsch, Paul; Mueller, Jens; Strehle, Steffen

99

Modeling and Manufacturing of an Electrostatically Driven Actuator for Micropumps

Authors:
Leistner, Henry; Anheuer, Daniel; Bosetti, Gabriele; Schrag, Gabriele; Richter, Martin

100

Optimierung und Einsatz einer Heizer-Isolationsschicht aus Polyimid für die Kryofixation in PDMS-Mikrokanälen

Authors:
Thiem, Daniel B.; Lamberz, Christian; Szabo, Greta; Burg, Thomas P.

101

Direktes Schreiben von magnetischen Mikroaktoren

Authors:
Geid, Nicolas; Prucker, Oswald; Rühe, Jürgen

102

Large deflection of electrostatically actuated microbeams – How do the bending modes contribute beyond pull-in?

Authors:
Melnikov, Anton; Schenk, Hermann A. G.; Monsalve, Jorge M.; Wall, Franziska; Stolz, Michael; Mrosk, Andreas; Langa, Sergiu; Schuffenhauer, David; Gaudet, Matthieu; Kaiser, Bert

103

104

105

Maskless pattern transfer into photostructured glasses by deep plasma etching

Authors:
Weigel, Christoph; Brokmann, Ulrike; Raedlein, Edda; Strehle, Steffen

106

Effiziente Plasmastrukturierung komplexer Gläser mit polymeren Resistmasken durch statistische Versuchsplanung

Authors:
Weigel, Christoph; Phi, Hai Binh; Akkad, Mohammad; Strehle, Steffen

107

Ein auf ferroelektrischer Polarisationsinversion in AlScN basierender Doppellagen MEMS-Aktuator

Authors:
Kreutzer, Tom-Niklas; Fichtner, Simon; Wagner, Bernhard; Lofink, Fabian

108

109

110

Vier-Level-Mikro-Via-Technologie (4LμV) für die ASIC-Integration in aktive flexible Sensorfolien

Authors:
Zhou, Maolei; von der Heide, Chresten; Passlack, Ulrike; Hanka, Kevin; Harendt, Christine; Kaiser, Alexander; Dietzel, Andreas

111

Assembly of Single-nanowires by Combining Soft Transfer and Surface Controlled Contact Printing

Authors:
Salimitari, Parastoo; Reuter, Christoph; Kroetschl, Anja; Strehle, Steffen

112

A microfluidic porous solid phase suitable for mass production

Authors:
Behrmann, Ole; Lisec, Thomas; Piechotta, Gundula; Gojdka, Bjoern

113

Hochenergieionen-Tiefenstrukturierung von PMMA mittels Microdegrader - eine Vergleichsstudie

Authors:
Gerold, Marcel; Mueck, Theresa; Akhmadaliev, Shavkat; Bischof, Tina; Csato, Constantin; Koch, Robert; Kraus, Matthias; Krippendorf, Florian; Maier, Tim; Zowalla, Andre; Rüb, Michael

114

Neuartige Methode zur ladungsunabhängigen Dosismessung bei Ionenimplantation

Authors:
Maier, Tim; Akhmadaliev, Shavkat; Bischof, Tina; Csato, Constantin; Gerold, Marcel; Koch, Robert; Kraus, Matthias; Krippendorf, Florian; Zowalla, Andre; Rüb, Michael

115

Heterosystem-integrated carbon nanotube sensors for on-ASIC condition monitoring

Authors:
Boettger, Simon; Dietz, Franz; Pankenin, Eric; Dahra, Nipun; Kaulfersch, Eberhard; Gromala, P.; Hermann, Sascha

116

Erweiterung des Einsatzbereiches von laserstrukturierten 3D-MID durch die Verwendung von keramischen Substratmaterialien

Authors:
Schilling, Alexander; Ninz, Philipp; Petillon, Simon; Weser, Sascha; Knöller, Andrea; Eberhardt, Wolfgang; Günther, Thomas; Kern, Frank; Zimmermann, Andre

117

Mikrotechnologische Fertigung von integrierten optischen Gittern mittels Lift-Off-Prozess für den Einsatz in Atominterferometern

Authors:
de Wall, Sascha; Kassner, Alexander; Dencker, Folke; Künzler, Christoph; Diekmann, Leonard; Wurz, Marc Christopher

118

Integration of hafnium oxide - based ferroelectric data storage devices into BEoL for low-power applications

Authors:
Seidel, Konrad; Lehninger, David; Olivo, Ricardo; Ali, Tarek; Lederer, Maximilian; Kaempfe, Thomas; Mertens, Konstantin; Kuehnel, Kati; Biedermann, Kati; Maehne, Hannes; Bernert, Kerstin; Thiem, Steffen

119

Maskless Lithography and 3D Printing through photochemical C,H Insertion Crosslinking

Authors:
Song, Dan; Kotz-Helmer, Frederik; Rapp, Bastian E.; Rühe, Juergen

120

Integration of nanoporous gold electrodes in microfluidic chambers by inkjet-printing for biosensing applications

Authors:
Trotter, Martin; Juric, D.; Bagherian, Zahra; Borst, Nadine; Glaeser, Kerstin; von Stetten, Felix; Zimmermann, Andre

121

Laser Grooving – the „Swiss Army Knife“ to make the Best of a Wafer

Authors:
Gang, Andreas; Yubira, Yasuyoshi; Chervenkov, Sotir; Viehweger, Kay; Wolf, Juergen

122

Fabrication of a Low Profile Planar Transformer Using a Dual PCB Approach

Authors:
Fischer, Eike Christian; Bierwirth, Tim Nils; Dencker, Folke; Wurz, Marc Christopher

123

Magnetically Enhanced Stretchable Interconnects for Human-Machine Interface

Authors:
Ernst, Daniel; Nieweglowski, Krzysztof; Schubert, Martin; Bock, Karlheinz

124

Modifikation eines Cryo-basierten Reaktiven Ionenätzprozesses zur Herstellung von bioinspirierten Nanokonusstrukturen

Authors:
Doll, Patrick W.; Schmidt-Speicher, Leona; Bacher, Andreas; Muslija, Alban; Ahrens, Ralf; Guber, Andreas E.

125

LIFT printing of deterministic porous electrodes for electrochemical systems

Authors:
Tang, Bo; Schneemann, Christian; Rager, Korbinian; Dworzak, Alexandra; Oezaslan, Mehtap; Dietzel, Andreas

126

Raman spectroscopy as an effective tool for characterizing large-area 2D TMDs deposited from the gas phase

Authors:
Becher, Malte; Wree, Jan-Lucas; Berning, Thomas; Neubieser, Rahel-Manuela; Michel, Marvin D.; Bock, Claudia; Devi, Anjana; Ostendorf, Andreas

127

Ein Prozess-Integrierendes Clustertool für 2D-Materialsysteme: vom Einzelprozess zur Integration auf Waferlevel

Authors:
Hoffmann, Martin; Awakowicz, Peter; Devi, Anjana; Schulze, Julian; Freyer, Benjamin; Witek, Helmut; Bock, Claudia

128

Characterization of Reactive Multilayer Systems deposited on LTCC featuring different surface morphologies

Authors:
Schulz, Alexander; Bartsch, Heike; Gutzeit, Nam; Matthes, Sebastian; Glaser, Marcus; Ruh, Andreas; Mueller, Jens; Schaaf, Peter; Bergmann, Jean Pierre; Wiese, Steffen

129

In-Memory Computing exceeding 10000 TOPS/W using Ferroelectric Field Effect Transistors for EdgeAI Applications

Authors:
Laleni, Nelli; Soliman, Taha; Mueller, Franz; Mojumder, Shaown; Kirchner, Tobias; Lederer, Maximilian; Hoffmann, Tudor; Guntoro, Andre; Wehn, Norbert; Kaempfe, Thomas

130

Thermisch und elektrisch optimiertes Leiterplatten-Prepackage für 100V/100A GaN Leistungshalbleiter

Authors:
Huesgen, Till; Sharma, Ankit Bhushan; Weimer, Julian; Koch, Dominik; Kallfass, Ingmar

131

Development of test chips for electrochemical analysis

Authors:
Hild, Olaf R.; Kurth, Eberhard; Sauer, Bodo; Graf, Alexander; Krause, Robert; Gogoi, Eshanee

132

Simulation model and dimensioning of a photoacoustic sensor for the detection of radiation-induced pressure surges

Authors:
Handte, Thomas; Bohm, Sebastian; Goj, Boris; Dittrich, Lars; Mollenhauer, Olaf; Sinzinger, Stefan; Runge, Erich

133

Reliability Aspects of in-plane NED Bending Actuators in Silicon-based MEMS

Authors:
Stolz, Michael; Langa, Sergiu; Kaiser, Bert; Schenk, Harald

134

Dimensioning and characterisation of an EWOD-driven chipintegrated micropump using time-resolved simulations

Authors:
Bohm, Sebastian; Phi, Hai Binh; Moriyama, Ayaka; Dittrich, Lars; Runge, Erich

135

136

Extended concept for a MEMS and IMS based ion filter

Authors:
Graf, Alexander; Funke, Nils; Hild, Olaf R.

137

Development of a modular microfluidic bioreactor to further research the inter-cellular communication of plant cells and pathogens

Authors:
Schmidt-Speicher, Leona M.; Supp, Laura; Metzger, Christian; Ahrens, Ralf; Nick, Peter; Guber, Andreas E.

138

Transfer Printable 64 Gbps Lumped Driver for Optical Communication

Authors:
Inac, Mesut; Fatemi, Adel; Gerfers, Friedel; Malignaggi, Andrea

139

High Refractive Index Integrated Photonics on Glass Substrates

Authors:
Lipka, Timo; Bosnjak, Bojan; Alhareeb, N.; Rennpferdt, Lukas; Vermeer, Matthias L.; Blick, Robert H.; Trieu, Hoc Khiem

140

Post-CMOS Integration of AlScN based Pyroelectric Sensors

Authors:
Laske, Norman; Broeker, Sebastian; Bette, Sebastian; Soerensen, Frerk; Kulkarni, Amit; Fichtner, Simon; Maes, Ben; Van Buggenhout, Carl

141

Enhancing the performance of piezoelectric energy harvesters by integrating AlScN piezoelectric thin film

Authors:
Dankwort, Torben; Yarar, Erdem; Gruenzig, Sven; Gojdka, Bjoern; Fichtner, Simon; Lofink, Fabian

142

Supervising varroa treatment of honey bees with smart sensor systems

Authors:
Schweizer, Thomas; Senger, Diren; Johannsen, Carolin; Kluss, Thorsten; Vellekoop, Michael J.

143

Entwicklung eines skalierbaren FOWLP AiP Moduls für 5G und mm-Wellen MIMO-Anwendungen

Authors:
Mueller, Friedrich; Braun, Tanja; Le, Thi Huyen; Rossi, Marco; Schwanitz, Oliver; Ndip, Ivan; Hoelck, Ole; Becker, Karl-Friedrich; Boettcher, Mathias; Schiffer, Michael; Aschenbrenner, Rolf; Voitel, Marcus; Schneider-Ramelow, Martin; Wieland, Marcel; Goetze, Christian; Trewhella, Jean; Berger, Daniel

144

Radiation Resistant High-temperature Bolometer Sensors for Fusion Experiments

Authors:
Schmitt, Stefan; Detemple, Peter; Meister, Hans; Ingesson, Christian; Penzel, Florian; Walach, Ulrich

145

Passivierte Mikrodurchflusssensoren für leicht korrosive Medien

Authors:
Frank, Th.; Cyriax, A.; Wünscher, H.; Grün, A.; Jagomast, S.; Maier, C.; Völlmeke, S.; Herbst, S.; Ortlepp, Thomas

146

Wafer-level fabrication of an EWOD-driven micropump

Authors:
Phi, Hai Binh; Bohm, Sebastian; Runge, Erich; Strehle, Steffen; Dittrich, Lars

147

Combination of Additive and Thin-Film Technological Manufacturing for the Realization of a Pressure Sensor for Biomedical Applications

Authors:
Prediger, Maren S.; Mueller, Eileen; Bengsch, Sebastian; Wurz, Marc Christopher

148

149

Keramische Mikroreaktoren für die kontinuierliche hydrothermale Synthese (CHTS)

Authors:
Zürn, Martin; Medesi, Anna; Klein, Alexander; Schüßler, Christian; Türk, Michael; Dietrich, Stefan; Hanemann, Thomas

150

151

152

Development of a Micro-integrated hyperspectral imaging system

Authors:
Guenther, Thomas; Hausladen, Florian; Barth, Maximilian; Roeder, Marcel; Janek, Florian; Drossart, Dominik; Wurm, Holger; Sahakalkan, Serhat; Stock, Karl; Zimmermann, Andre

153

Flexible Ultra-Thin Chip-Film Patch for Integration of Electronic Components for Biomedical Applications

Authors:
Passlack, Ulrike; Simon, Nicolai; Bucher, Volker; Harendt, Christine; Burghartz, Joachim N.

154

155

Biocompatible pressure-sensitive diaphragms for medical implants

Authors:
Klein, Ann-Kathrin; Burkhardt, Claus; Stamm, Boris; Kaya, Alexander; Dietzel, Andreas

156

Δ-Kodierung zur Reduzierung der Datenrate in neuronalen Sonden mit In-Situ Δ-Σ Analog-Digital-Wandler Front-End

Authors:
Wendler, Daniel; Körber, Jan; De Dorigo, Daniel; Willaredt, Roman; Manoli, Yiannos

157

Point-of-Care System for HTLV-1 Proviral Load Quantification by Digital Mediator Displacement LAMP

Authors:
Becherer, Lisa; Hess, Jacob Friedrich; Haerpfer, Tamara; Frischmann, Sieghard; Bakheit, Mohammed; Nitschko, Hans; Stinco, Silvina; Zitz, Friedrich; Hofer, Hannes; Porro, Giampiero; Hausladen, Florian; Stock, Karl; Drossart, Dominik; Wurm, Holger; Kuhn, Hanna; Huber, Dominik; Hutzenlaub, Tobias; Paust, Nils; Keller, Mark; Strohmeier, Oliver; Wadle, Simon; Borst, Nadine; Zengerle, Roland; von Stetten, Felix

158

High dynamic range digital assay enabled by dual volume centrifugal step emulsification

Authors:
Schulz, Martin; Ruediger, Julian; Landmann, Emelie; Bakheit, Mohammed; Frischmann, Sieghard; Rassler, Daniela; Homann, Ana R.; von Stetten, Felix; Zengerle, Roland; Paust, Nils

159

Highly Modular Microsystem Inchworm Motor Based on a Nanoscopic Electrostatic Drive

Authors:
Narimani, Keyvan; Shashank, Shashank; Langa, Sergiu; Pineda Gomez, Roberto; Ruffert, Christine; Scholles, Michael; Schenk, Harald

160

161

162

Pressure Pulse Classification for Flow Disturbance Detection in Micro Diaphragm Pumps

Authors:
Thalhofer, Thomas; Heinrich, Ferdinand; Hayden, Oliver

163

Die MRD Disk: Automatisiertes Monitoring Minimaler Resterkrankung durch hochsensitive, zentrifugal-mikrofluidische Multiplex-qPCR

Authors:
Juelg, Peter; Kipf, Elena; Specht, Mara; Menges, Julian; Fillies, Marion; Eckert, Cornelia; Paust, Nils; Zengerle, Roland; Lehnert, Michael; Hutzenlaub, Tobias

164

Entwicklung eines kalorimetrischen Zweidraht-Massenflusssensors für Wasser auf Basis von Glassubstraten

Authors:
Laske, Norman; Lisec, Thomas; Knieling, Thomas; Wille, Gunnar; Blohm, Lars

165

Fiber-based optrodes Light delivery for optogenetics

Authors:
Petrovic, Jelena; Lange, Fred; Hohlfeld, Dennis

166

Femtosecond laser fabrication of a paper-based biosensor for measurement of Amitriptyline

Authors:
Builes Sanchez, Jaime Esteban; Conrad, Monika; Gauglitz, Guenter; Dietzel, Andreas

167

Lab-on-a-chip based silicon nanowire sensor system for the precise study of chemical reaction-diffusion networks

Authors:
Tintelott, Marcel; Ingebrandt, Sven; Pachauri, Vivek; Vu, Xuan Thang

168

RISC-V based SoC with integrated switched-capacitor PUF in 180 nm

Authors:
Mueller, Kai-Uwe; Stanitzki, Alexander; Fedtschenko, Tatjana; Kokozinski, Rainer

169

Energieautarker Beschleunigungssensor mit Maximalwertspeicher

Authors:
Schmitt, Philip; Hoffmann, Martin

170

SmartNIR - Development of a highly miniaturised NIR-spectrometer for integration into mobile devices

Authors:
Reinig, Peter; Dallmann, Hans-Georg; Kruse, Jens; Knobbe, Jens

171

Large area energy filter membranes for effective doping of silicon and silicon-carbide substrates through high-energy implantation

Authors:
Steinbach, Tamas; Akhmadaliev, Shavkat; Burghartz, Joachim N.; Csato, Constantin; Gerold, Marcel; Koch, Robert; Krippendorf, Florian; Letzkus, Florian; Rueb, Michael

172

Aufbau und Charakterisierung eines CMOS-integrierten Sensorsystems zur Messung von Verformungen

Authors:
Schumacher, Axel; Shah, Vraj; Knappmann, Stephan; Hehn, Thorsten; Dehe, Alfons

173

Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducers for Applications in Nondestructive Testing

Authors:
Voelz, Uwe; Kircher, Marco; Koch, Sandro G.; Krenkel, Marcel

174

Closed-Loop Approach on Formal Specification for Semiconductor Test

Authors:
Schott, Christian; Mayer, Franziska; Billich, Enrico; Yazdani, Saeid; Sauppe, Matthias; Wolz, Werner; Heinkel, Ulrich

175

Siliziumdehnungssensoren zur Spannungsanalyse

Authors:
Frank, Thomas; Grün, A.; Maier, C.; Asghar, M. T.; Krieger, U.; Cyriax, A.; Hintz, Michael; Ortlepp, Thomas

176

Kinetic Energy Harvesting in a driven Tool Holder

Authors:
Wendt, Thomas; Gawron, Philipp; Stiglmeier, Lukas

177

178

Waferlevel Hermetizitätstest für Drucksensoren

Authors:
Elsinger, Georg; Sgouridis, Sokratis; Tuma, Anton; Aschauer, Elmar; Plank, Harald

179

System-Level Modeling of a Cooperative Microactuator with Free Particle Movement

Authors:
Olbrich, Michael; Schuetz, Arwed; Bechtold, Tamara; Ament, Christoph

180

Hybrid microintegrated laser modules for precision spectroscopy applications in space

Authors:
Kuerbis, Christian; Baumann, Jan; Bawamia, Ahmad; Franke, Tobias; Hahn, Alina; Kluck, Andre; Kreutzmann, Sabrina; Smol, Robert; Wicht, Andreas; Traenkle, Guenther

181

Strahlcharakteristik eines elektrostatischen, membranlosen MEMS-Ultraschallwandlers für Umgebungserfassung

Authors:
Melnikov, Anton; Marica-Bercu, Ioana; Monsalve, Jorge M.; Jongmanns, Marcel; Kaiser, Bert

182

Bayessche Justierkalibrierung eines CMOS-integrierten Hall- Temperatur-Sensorsystems

Authors:
Berger, Moritz; Schott, Christian; Paul, Oliver

183

184

Sensor-equipped microreactors: electrochemical multianalyte detection in hydrogen peroxide direct synthesis

Authors:
Urban, Sebastian; Deschner, Benedikt; Trinkies, Laura L.; Kieninger, Jochen; Kraut, Manfred; Dittmeyer, Roland; Urban, Gerald A.; Weltin, Andreas

185

Miniaturisierter optischer Drehwinkelsensor mit integrierter Interpolation

Authors:
Seybold, Jonathan; Buelau, Andre; Fritz, Karl-Peter; Zimmermann, Andre; Frank, Alexander; Scherjon, Cor; Burghartz, Joachim

186

Multi-Axis Micro Force Sensor Based on a CMOS Integrated Chip

Authors:
Folkmer, Bernd; Hehn, Thorsten; Koehler, Manuel; Willmann, Alexander; Landler-Gaertner, Daniel; Dehe, Alfons

187

Electrical properties of functional Y2O3 films applied to thin film transistors

Authors:
Berning, Thomas; Beer, Sebastian; Boysen, Nils; Devi, Anjana; Bock, Claudia

188

189

Quantum-based position sensors for industrial applications

Authors:
Niethammer, Matthias; Dorneich, Albert; Bauer, Ralph; Baehr, Mario; Boeckenhoff, Christoph; Ritter, Ulrich; Schaefer, Roland; Wrachtrup, Joerg

190

Charakterisierung von ultradünnen Bildsensoren und heterogenen Systemintegration in Folie

Authors:
Wang, Shuo; Albrecht, Björn; Harendt, Christine; Schulze Spüntrup, Jan Dirk; Burghartz, Joachim

191

Development of Cost-Effective Automated Test System for Determining Lifetime of Gold Contacts Under Mechanical Load

Authors:
Alaboz, Hakan; Kovacs, Andras; Safa, Yasser; Mescheder, Ulrich M.

192

Simulationsgestützte Auslegung und Fertigung von piezoelektrischen Kraftsensor-Arrays zur Untersuchung des Ultraschall-Drahtbondprozesses

Authors:
Arndt, Matthias; Wurz, Marc Christopher; Dencker, Folke; Long, Yangyang; Twiefel, Jens