Einstellbare Prismen mit Glas-Luft Interface: Ein Vergleich verschiedener Aktuierungsmethoden

Conference: MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
11/08/2021 - 11/10/2021 at Stuttgart-Ludwigsburg, Deutschland

Proceedings: MikroSystemTechnik Kongress 2021

Pages: 4Language: germanTyp: PDF

Authors:
Weber, Pascal M.; Lemke, Florian; Wapler, Matthias C.; Wallrabe, Ulrike (Laboratory for Microactuators, IMTEK – Department of Microsystems Engineering, Universität Freiburg, Deutschland)

Abstract:
In diesem Paper untersuchen und vergleichen wir die Eigenschaften von zwei verschiedenen Aktuierungsmethoden für einstellbare Prismen, um diese bi-axial auszulenken. Die Aktuierung basiert einerseits auf Piezo-Bimorph Biegebalken, andererseits auf der magnetischen Wechselwirkung mittels Spulen und Permanentmagneten. Dabei erreichen beide mit ±12,1Grad bzw. ±9,7Grad ähnliche Kippwinkel, das Piezoprisma ist aber mit 2,5 ms Antwortzeit deutlich schneller als das Magnetprisma mit 14,4 ms. Im Gegenzug besitzt das Magetprisma den Vorteil, dass es durch den Verzicht auf empfindliche Materialien außergewöhnlich robust und einfach zu fertigen ist.