Laserdirektschreiben metallischer Nanostrukturen aus der Gasphase mittels Zwei-Photonen-Absorption
                  Conference: MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
                  11/08/2021 - 11/10/2021 at Stuttgart-Ludwigsburg, Deutschland              
Proceedings: MikroSystemTechnik Kongress 2021
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
            Authors:
                          Schwarz, Nicolai; Klotzbuecher, Thomas (Institut für Mikrotechnik und Mikrosysteme IMM, Mainz, Deutschland)
                      
              Abstract:
              Es wird ein neuer Ansatz für die Erzeugung dreidimensionaler Metall-Nanostrukturen vorgestellt, der auf der Zwei-Photonen-Absorption von fs-Laserstrahlung an Silber-Präkursormolekülen in der Gasphase beruht. Zweidimensionale Silberstrukturen mit Abmessungen im Submikrometerbereich wurden erfolgreich aus der Gasphase auf Glassubstraten abgeschieden. Zukünftige Untersuchungen zielen darauf ab, das Verfahren in die dritte Dimension zu erweitern.            

