Entwicklung eines kalorimetrischen Zweidraht-Massenflusssensors für Wasser auf Basis von Glassubstraten

Abstract:
Kalorimetrische Massenfluss-Sensoren nutzen die advektive Wärmeübertragung durch ein Fluid, um auf die Flussrate durch einen definierten Strömungskanal zu schließen. Für die Bestimmung des Wasserflusses von bis zu 6 l/min in einem miniaturisierten Ozongenerator wurde eine Anordnung aus zwei Heizdrähten auf einem Glassubstrat realisiert, die durch eine einfache Wheatstonesche Messbrücke ausgelesen werden kann. Eine FEM-basierte Konzeptüberlegung führte zu einer sehr kompakten Anordnung mit geringem Leistungsumsatz bei einer Temperaturerhöhung unter 20 K.