Closed-Loop CMOS Stresskartierungssystem mit 4-Bit einstellbarer Sensitivität basierend auf 32 FET Stresssensoren

Conference: MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
11/08/2021 - 11/10/2021 at Stuttgart-Ludwigsburg, Deutschland

Proceedings: MikroSystemTechnik Kongress 2021

Pages: 3Language: germanTyp: PDF

Authors:
Allinger, Kim; Kuhl, Matthias (Technische Universität Hamburg, Hamburg, Deutschland)

Abstract:
Dieser Beitrag präsentiert ein vollständig konfigurierbares CMOS Stresskartierungssystem basierend auf 32 integrierten FET Stresssensoren. Um ein möglichst breites Anwendungsfeld abdecken zu können wurde eine closed-loop Systemarchitektur entwickelt die sowohl eine um den Faktor 20 erhöhte Ausleserate im Vergleich zu vorherigen Systemen als auch eine 4-Bit programmierbare Sensitivität erlaubt. Durch eine für den closed-loop-Betrieb optimierte Übertragungsfunktion konnten die Anforderungen an Eingangsrauschen und Offset von Auslesekomponenten um 73 dB verglichen zum State-of-the-Art reduziert werden.