Waferlevel Hermetizitätstest für Drucksensoren
Conference: MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
11/08/2021 - 11/10/2021 at Stuttgart-Ludwigsburg, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik Kongress 2021
Pages: 3Language: germanTyp: PDF
Authors:
Elsinger, Georg; Sgouridis, Sokratis; Tuma, Anton; Aschauer, Elmar (Infineon Technologies Austria, Villach, Austria)
Plank, Harald (FELMI-ZFE, Graz, Austria)
Abstract:
Für ein Testsystem, bestehend aus einem Drucksensor, welcher mittels eines Referenzdrucks arbeitet, und einem bewusst platzierten Defekt, wurde eine Bombierung als mögliche Verbesserung der Detektierbarkeit eines äußerst kleinen Lecks auf Waferlevel getestet. Weiters wurde eine vereinfachte Modellierung eines beobachteten Lecks vorgenommen, um Vorhersagen zum Effekt einer Bombierung treffen zu können, und um Rückschlüsse über die zu erwartenden Dimensionen des Leckpfades zu erhalten.