Membranbasierte Drucksensoren basierend auf Nanogranularen Tunnelwiderständen für medizinische Anwendungen
Conference: Mikro-Nano-Integration - 9. GMM-Workshop
11/21/2022 - 11/22/2022 at Aachen, Germany
Proceedings: GMM-Fb. 105: Mikro-Nano-Integration
Pages: 3Language: germanTyp: PDF
Authors:
Klein, Ann-Kathrin; Goschurny, Thomas; Bieschke, Pascal; Kaya, Alexander (NanoScale Systems, Nanoss GmbH, Darmstadt, Deutschland)
Abstract:
Diese Arbeit berichtet über die Funktionalisierung von biokompatiblen Materialien mit Nanogranularen Tunnelwiderständen (engl. Nanogranular Tunneling Resistors), die wir als Dehnungssensoren verwenden. Im Gegensatz zu piezoresistiven oder kapazitiven Sensoren in herkömmlichen Drucksensoren sind nanogedruckte NTR-Sensoren extrem klein und können ohne Einschränkungen in Bezug auf die Größe, die Geometrie und die Biokompatibilität einer Druckmembran verwendet werden. Somit bietet dieser Ansatz neue Möglichkeiten für die Entwicklung medizinischer Anwendungen.