VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik Mikrosystem- und Feinwerktechnik (GMM) (Ed.)

GMM-Fb. 105: Mikro-Nano-Integration

Beiträge des 9. GMM-Workshops 21. – 22.11.2022 in Aachen

GMM-Fachberichte

2022, 131 pages, 140 x 124 mm, Slimlinebox, CD-Rom
ISBN 978-3-8007-5990-3, e-book: ISBN 978-3-8007-5991-0
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Content Foreword

Mikrosysteme nutzen heute in großem Umfang Nanostrukturen, um Sprünge in der Leistungsfähigkeit oder gänzlich neuartige Funktionen zu erreichen. Viele innovative Ideen aus der universitären Forschung haben Eingang in die industrielle Umsetzung gefunden. Dies sollte Motivation sein, auch weiterhin Ideen für funktionale Nanostrukturen in Mikrosystemen zu erforschen und in Anwendungen zu evaluieren. Der Workshop bietet die ideale Gelegenheit, Ideen und Konzepte vorzustellen und zu diskutieren. Unsere Keynotes präsentieren anschauliche Beispiele für eine erfolgreiche Transformation von Forschungsergebnissen in industrielle Anwendungen.
VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik (VDE/VDI GMM)

Die GMM hat die Aufgabe, die wissenschaftliche und technische Entwicklung im Bereich der Mikroelektronik, Mikrosystem-, Nano- und Feinwerktechnik sowie deren breite Anwendungen zu fördern. Sie initiiert den dazu erforderlichen Dialog zwischen Herstellern, Anwendern und Wissenschaft und bildet ein Forum für Diskussionen über diese Techniken in der Öffentlichkeit. Die GMM vertritt die Belange der in ihr vertretenen Arbeits- und Fachgebiete gegenüber politischen Entscheidungsträgern und bringt ihre Fachkompetenz in die Gestaltung der Förderpolitik ein.

1

Large-area deposition of thin crystalline MoS2 films on 200 mm wafers using plasma-assisted atomic layer deposition.

Authors:
Jagosz, J.; Willeke, L.; Becher, M.; Ostendorf, A.; Plate, P.; Bock, C.

2

Heterointegration von III-V basierten Resonanztunneldioden-Oszillatoren/Detektoren und Heterobipolartransistor-MMICs für kompakte THz Module

Authors:
Preuss, Christian; Kress, Robin; Mutlu, Enes; Mueller, Konrad; Possberg, Alexander; Prost, Werner; Weimann, Nils

3

Rapid thermal annealing and reduction process monitoring of graphene oxide thin film on chip

Authors:
Amiri, Hesam; Nikookhesal, Aidin; Murugan, Divagar; Scholz, Stefan; Frentzen, Michael; Cao, Yuan; Vu, Xuan-Thang; Schnakenberg, Uwe; Sai, V V Raghavendra; Narayanan, Madaboosi S.; Knoch, Joachim; Ingebrandt, Sven; Pachauri, Vivek

4

Cu complex inks for printed electronics application-challenges and solutions

Authors:
Mohan, Nihesh; Saccon, Rodolfo; Bhogaraju, Sri Krishna; Elger, Gordon

5

Cu sintering for high power electronics packaging – challenges and solutions

Authors:
Saccon, Rodolfo; Bhogaraju, Sri Krishna; Elger, Gordon

6

Laserinduzierte Verringerung des Metall-Graphen-Kontaktwiderstands

Authors:
Jangra, Vikas; Kataria, Satender; Lemme, Max C.

7

Graphen/Cynanin-Farbstoff-basierte hochempfindliche flexible Photodetektoren

Authors:
Uzlu, Burkay; Stoll, Stefanie; Yakar, Ozan; Schneider, Daniel S.; Oezalp, Elif Merve; Neumaier, Daniel; Balci, Sinan; Wang, Zhenxing; Lemme, Max C.

8

Non-fully gold nanohole array fabricated by nanoimprint lithography

Authors:
Zhu, Ruifeng; Proempers, Michael; Offenhaeusser, Andreas; Mayer, Dirk

9

CMOS-compatible fabrication of perforated membranes for filtration applications

Authors:
Brechmann, Noah; Michel, Marvin; Pickhinke, Andreas; Schierbaum, Nicolas; Seidl, Karsten

10

Tabakmosaikviren als „Nanocarrier“ zur Anbindung von Biomolekülen auf kapazitiven Feldeffektsensoren

Authors:
Vahidpour, Farnoosh; Welden, Melanie; Poghossian, Arshak; Wendlandt, Tim; Wege, Christina; Keusgen, Michael; Schoening, Michael J.

11

Modellierung und Experimente von Gold-Nanopartikel-modifizierten Feldeffektstrukturen

Authors:
Karschuck, Tobias; Poghossian, Arshak; Wagner, Patrick H.; Schoening, Michael J.

12

Kompakter optischer Quantensensor basierend auf NV-Zentren in Diamant

Authors:
Baehr, Mario; Jahn, Martin; Heinze, Christoph; Neckermann, Kristin; Ortlepp, Thomas; Meijer, Jan

13

In-plane thermal diffusivity measurement of Parylene C thin film with an RTD sensor array on a SiNx membrane

Authors:
Jiang, Felix; Schaller, Laura; Ryu, Meguya; Morikawa, Junko; Ingebrandt, Sven; Vu, Xuan Thang

14

Zinc Oxide Nanowire Arrays Growth on Patterned Silicon Substrate for Π-ezoelectric Energy Harvesting

Authors:
Anang, Frank Eric Boye; Wang, Zhenjun; Xu, Jiushuai; Schmidt, Angelika; Cain, Markys; Peiner, Erwin

15

Elektrodenfeld für die zweidimensionale Charakterisierung nanostrukturierter Materialien

Authors:
Pliquett, Uwe; Gansauge, Chris; Echtermeyer, Danny

16

Herstellung flexibler Foliensysteme durch Flip-Chip Bonden gedünnter Chips auf Kontaktpads mit Nanodrähten

Authors:
Albrecht, Bjoern; Passlack, Ulrike; Harendt, Christine; Weissenborn, Florian; Birlem, Olav; Quednau, Sebastian; Burghartz, Joachim. N.

17

Modellbasiertes Reaktives Fügen

Authors:
Belguanche, Amal; Schumacher, Axel; Desch, Nikolai; Benachour, Abdulmonaim; Boettcher, Julius; Dietrich, Georg; Pflug, Erik; Spies, Irina; Meyer, Peter; Folkmer, Bernd; Knappmann, Stephan; Farber, Peter; Graebel, Jens; Lake, Markus; Dehe, Alfons

18

Membranbasierte Drucksensoren basierend auf Nanogranularen Tunnelwiderständen für medizinische Anwendungen

Authors:
Klein, Ann-Kathrin; Goschurny, Thomas; Bieschke, Pascal; Kaya, Alexander

19

Numerical Sensitivity Analysis of Microelectrodes for Multi-Local Im-pedance Measurements on Needles

Authors:
Liu, Jan; Atmaca, Ömer; Ly, Toni J.; Pott, Peter P.

20

Erhöhung des Technologie-Reifegrades von Silicium-Gras zur Breitbandigen Entspiegelung von Siliciumoberflächen

Authors:
Hillebrand, Marius; Thewes, Anna Christina; Hoffmann, Martin; Bindel, Luisa; Isserstedt-Trinke, Annett; Biermann, Steffen; Gassner, Simon; Travan, Caterina; Glock, Ulrike

21

Comparative study of wafer-scale Al2O3 layers made by thermal and plasma-enhanced ALD

Authors:
Willeke, Leander; Jagosz, Julia; Gerke, Nils; Plate, Paul; Hoffmann, Martin; Bock, Claudia

22

Plasmonic Metamaterial Absorber for Multispectral MWIR Microbolometers

Authors:
Litke, Alexander; Zakizade, Elahe; Michel, Marvin; Dittrich, Dirk; Weyers, Sascha; Schall-Giesecke, Anna Lena

23

Miniaturisierte kapazitive Feldeffekt-Sensoren mit atomlagenabgeschiedenem Ta2O5 auf ultradünnen Isolatoren

Authors:
Iken, Heiko; Johnen, Anna Lynn; Molinnus, Denise; Richstein, Benjamin; Hellmich, Lena; Poghossian, Arshak; Knoch, Joachim; Schoening, Michael J.

24

Effective MEMS Manufacturing Using Vapor HF Etch Processing Illustrated by Means of a Sterilization Cycle Counter

Authors:
Baum, Norbert; Vora, Riddesh; Spies, Irina; Hoffmann, Daniel; Trautner, Heiko; Blattert, Christoph; Dehe, Alfons; Anderson, David; O'Hara, Tony

25

26

Fabrication of distributed Bragg reflectors to reduce coupling losses of photonic circuits

Authors:
Vermeer, Matthias L.; Alhareeb, Nadeem K.; Trieu, Hoc Khiem; Lipka, Timo

27

Glass-on-Glass Integrated Optofluidic Sensor based on a-Si:H Ring Resonators for Lab-on-Chip Applications

Authors:
Alhareeb, Nadeem K.; Vermeer, Matthias L.; Rennpferdt, Lukas; Trieu, Hoc Khiem; Lipka, Timo