1
Polymer-Keramik-Komposite mit hoher Dielektrizitätskonstante für Anwendungen in der Mikrosystemtechnik
Authors:
Hanemann, Thomas; Schumacher, Benedikt; Schumacher, Benedikt
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop
2
Pulvertechnologische Herstellung von metallischen und keramischen Mikrobauteilen
Authors:
Piotter, V.; Haußelt, J.
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop
3
Sensitive Feuchtesensoren auf der Basis von Nanokompositen
Authors:
Martin, Jörg; Piasta, Doreen; Hammacher, Jens; Wegener, Michael; Dittrich, Claus; Otto, Thomas
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop
4
Structural and Mechanical Properties of Sintered Porous Silicon
Authors:
Angelopoulos, Evangelos A.; Wacker, Nicoleta; Burghartz, Joachim N.
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop
5
Technologiekompatible 3D-Strukturierung zur Herstellung integrierter Mikrosysteme
Authors:
Völlmeke, Stefan; Preuß, Klaus-Dieter; Steinke, Arndt
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop
6
Tiefenlithographieprozess für SU-8-Dickschicht-Funktionsstrukturen auf FR4-Leiterplattenmaterial
Authors:
Kohlstedt, Anika; Schlaak, Helmut F.
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop
7
Vollfeld Nanoimprintlithographie mit flexiblen Stempeln
Authors:
Hornung, Michael; Ji, Ran
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop
8
Zentrifugales System für das Rapid Prototyping in der Mikrofluidik
Authors:
Sterck, Albert; Hipp, Thomas; Reiner, Thomas; Gehring, Frank K.
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop