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Polymer-Keramik-Komposite mit hoher Dielektrizitätskonstante für Anwendungen in der Mikrosystemtechnik

Authors:
Hanemann, Thomas; Schumacher, Benedikt; Schumacher, Benedikt
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop

22

Pulvertechnologische Herstellung von metallischen und keramischen Mikrobauteilen

Authors:
Piotter, V.; Haußelt, J.
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop

23

Sensitive Feuchtesensoren auf der Basis von Nanokompositen

Authors:
Martin, Jörg; Piasta, Doreen; Hammacher, Jens; Wegener, Michael; Dittrich, Claus; Otto, Thomas
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop

24

Structural and Mechanical Properties of Sintered Porous Silicon

Authors:
Angelopoulos, Evangelos A.; Wacker, Nicoleta; Burghartz, Joachim N.
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop

25

Technologiekompatible 3D-Strukturierung zur Herstellung integrierter Mikrosysteme

Authors:
Völlmeke, Stefan; Preuß, Klaus-Dieter; Steinke, Arndt
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop

26

Tiefenlithographieprozess für SU-8-Dickschicht-Funktionsstrukturen auf FR4-Leiterplattenmaterial

Authors:
Kohlstedt, Anika; Schlaak, Helmut F.
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop

27

Vollfeld Nanoimprintlithographie mit flexiblen Stempeln

Authors:
Hornung, Michael; Ji, Ran
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop

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Zentrifugales System für das Rapid Prototyping in der Mikrofluidik

Authors:
Sterck, Albert; Hipp, Thomas; Reiner, Thomas; Gehring, Frank K.
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop