Authors:
Fleischhauer, Bernward; Kloke, Arne; Rubenwolf, Stefanie; Schuh, Kerstin; Schlipf, Christine; Krüger, Michael; Müller, Claas; Prucker, Oswald; Reinecke, Holger; Rühe, Jürgen; Stetten, Felix von; Zengerle, Roland; Woias, Peter
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007