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Self Assembled Monolayer for thin film capacitors on printed circuit boards

Authors:
Taroata, Dan; Fischer, Wolf J.; Schmid, Günter
Conference:
Mikro-Nano-Integration - 1. GMM-Workshops

22

Silizium-Keramik-Verbundsubstrat – eine neue Plattform für die Mikro-Nano-Integration

Authors:
Fischer, M.; Torres, H. Bartsch de; Pawlowski, B.; Barth, S.; Hoffmann, M.; Müller, J.
Conference:
Mikro-Nano-Integration - 1. GMM-Workshops

23

Simulation of lithographic processes for fabrication of nanostructures

Authors:
Erdmann, Andreas; Fühner, Tim; Evanschitzky, Peter; Liu, Shijie
Conference:
Mikro-Nano-Integration - 1. GMM-Workshops

24

Strukturierungstechnik zur Integration nanoskaliger Gräben für die Mikrosystemtechnik

Authors:
Hilleringmann, Ulrich; Wolff, Karsten
Conference:
Mikro-Nano-Integration - 1. GMM-Workshops

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Two Lithography-Based Technologies for the Fabrication of Submicron to Deep-Submicron Structures

Authors:
Jia, Chenping; Wiemer, Maik; Werner, Thomas; Otto, Thomas; Gessner, Thomas; Gessner, Thomas
Conference:
Mikro-Nano-Integration - 1. GMM-Workshops

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Variation von nanostrukturiertem Silicium aus DRIE-Tiefenätzprozessen zur Integration in Si-basierte MEMS

Authors:
Kremin, C.; Leopold, S.; Stubenrauch, M.; Hoffmann, M.
Conference:
Mikro-Nano-Integration - 1. GMM-Workshops

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Zuverlässigkeitsaspekte bei Nanoklettverschlüssen

Authors:
Stubenrauch, M .; Schwandt, M.; Hecht, S.; Kremin, C.; Fischer, M.; Hoffmann, M.
Conference:
Mikro-Nano-Integration - 1. GMM-Workshops