41
DLC-Beschichtung auf SU-8-Fotoresist für piezoresistive Anwendungen in der Kraftsensorik
Authors:
Jordan, Alexa; Petersen, Mirjana; Bandorf, Ralf; Büttgenbach, Stephanus; Klages, Claus-Peter; Klages, Claus-Peter
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
42
Dreidimensionale Verformungsanalyse von MEMS/NEMS mittels Röntgencomputertomographie
Authors:
Hammacher, Jens; Dost, Michael; Faust, Wolfgang; Scheiter, Lutz; Erb, Rolf; Rzepka, Sven; Michel, Bernd
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
43
Druckluft-unterstütztes thermisches Deckeln folienbasierter Lab-on-a-Chip Kartuschen
Authors:
Kosse, Dominique; Buselmeier, Dirk; Müller, Claas; Zengerle, Roland; Zengerle, Roland; Stetten, Felix von; Stetten, Felix von
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
44
Drucksensor-Implantat als Schlüsselkomponente für neue Behandlungsansätze bei Herzinsuffizienz - Projekt COMPASS
Authors:
Urbaszek, Albrecht; Trieu, Hoc-Khiem; Traulsen, Tim; Mokwa, Wilfried; Schmitz-Rode, Thomas
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
45
Dünnschichtsensorik zur Online-Überwachung von Scherschneidprozessen
Authors:
Biehl, Saskia; Staufenbiel, Sebastian; Hauschild, Frank; Kräusel, Verena; Mintenbeck, Dieter
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
46
Ein Funktionskatalog zur Unterstützung verteilter und hybrider Produktentstehungsprozesse in der Mikrosystemtechnik
Authors:
Albers, Albert; Börsting, Peter; Matthiesen, Sven
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
47
Ein neuartiger paramagnetischer Sauerstoffsensor in Mikrosystemtechnik auf Basis eines Anisotropen-Magnetoresistiven-Effekt-Magnetfeldsensors
Authors:
König, Florian; Müller, Jörg
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
48
Ein Smart Label zum Auslesen und Übertragen von Temperaturwerten basierend auf organischer Elektronik
Authors:
Pankalla, Sebastian; Ganesan, Ramkumar; Glesner, Manfred; Krumm, Jürgen; Ludwig, Klaus
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
49
Ein Verfahren zur Herstellung von funktionalen Mikrostrukturen mit sehr hohem Aspektverhältnis durch komplementäre Stützstrukturen
Authors:
Nazmov, Vladimir; Last, Arndt; Marschall, Felix; Mohr, Jürgen; Simon, Markus; Vogt, Harald
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
50
Einbettung von plasmonischen Elementen in photonische Kristall-Resonatoren für Licht-Materiekopplung
Authors:
Schoengen, M.; Nüsse, N.; Probst, J.; Kronast, F.; Barth, M.; Wolters, J.; Löchel, B.; Benson, O.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
51
Einsatz energieautarker Mikrosysteme zur Zustandserfassung von Kugelgewindetrieben in Werkzeugmaschinen
Authors:
Denkena, B.; Möhring, H.-C.; Bertram, O.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
52
Einsatz von Bidirektionalen Mikrodisplays in der Messtechnik als invers-konfokaler Sensor
Authors:
Großmann, C.; Großmann, C.; Zwick, S.; Perske, F.; Baumgarten, J.; Herold, R.; Brenner, S.; Vogel, U.; Riehemann, S.; Notni, G.; Tünnermann, A.; Tünnermann, A.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
53
Einsatz von verlorenen Formen für die Herstellung von mikrofluidischen Strukturen mittels der Hot Melt Ink Drucktechnologie
Authors:
Kain, A.; Müller, C.; Reinecke, H.; Reinecke, H.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
54
Einsatzmöglichkeiten mikrooptischer Komponenten für Mask Aligner Belichtungssysteme
Authors:
Hornung, M.; Schindler, K.; Vogler, U.; Voelkel, R.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
55
Electric power generator for a micro heat engine
Authors:
Ravindran, S. K. T.; Huesgen, T.; Huesgen, T.; Kroener, M.; Woias, P.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
56
Elektrisch geschaltete Mikrofluidsegmente für die 'Segment-on-Demand'-Technik
Authors:
Schneider, S.; Budden, M.; Günther, P. M.; Schwieger, S.; Kielpinski, M.; Henkel, Th.; Köhler, J. M.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
57
Elektrochemische Abscheidung von Pd/Zn-Multilagen für das Fügen mit reaktiven Materialsystemen
Authors:
Besser, J.; Braeuer, J.; Wiemer, M.; Gessner, T.; Gessner, T.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
58
Elektrochemisches Polieren von 3D-Mikrosystemen hergestellt mittels Mikrofunkenerosion
Authors:
Lesche, Claudia; Stegemann, Daniel; Krah, Thomas; Büttgenbach, Stephanus
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
59
Elektromotorischer Greifer für die Montage feinwerktechnischer und mikrotechnischer Systeme
Authors:
Firat, Özgür; Hofmann, Andreas; Hummel, Benjamin; Bertsch, Benjamin; Bretthauer, Georg; Bretthauer, Georg
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
60
Empfangsmikrospulenarray für Magnetresonanztomographie
Authors:
Gruschke, O. G.; Clad, L.; Baxan, N.; Kratt, K.; Mohmmadzadeh, M.; Elverfeldt, D. von; Peter, A.; Hennig, J.; Badilita, V.; Wallrabe, U.; Korvink, J. G.; Korvink, J. G.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011