1
Temperatur- und Feuchtesensor basierend auf planarisierten LTCC-Oberflächen
Authors:
Goj, Boris; Bartsch, Heike; Hanitsch, Stefan; Hoffmann, Martin; Müller, Jens
Conference:
Mikro-Nano-Integration - Beiträge des 5. GMM-Workshops
2
Template-assisted fabrication of self-supported 3D functional nanostructure arrays towards high performance devices
Authors:
Grote, Fabian; Wen, Liaoyong; Lei, Yong
Conference:
Mikro-Nano-Integration - Beiträge des 5. GMM-Workshops
3
Untersuchung der thermoelektrischen Eigenschaften von Submikrometer-Silizium-Säulen
Authors:
Stranz, A.; Waag, A.; Peiner, E.
Conference:
Mikro-Nano-Integration - Beiträge des 5. GMM-Workshops
4
UV-imprinting for the integration of inkjet-printed micro-optical elements
Authors:
Jacot-Descombes, Loic; Schleunitz, Arne; Klein, Jan J.; Grützner, Susanne; Bullerjahn, Franziska
Conference:
Mikro-Nano-Integration - Beiträge des 5. GMM-Workshops
5
Vollautomatische nanorobotische Bestückung von mikroskaligen Magazinen im Rasterelektronenmikroskop
Authors:
Bartenwerfer, M.; Diederichs, Claas; Diederichs, Claas; Fatikow, S.; Fatikow, S.
Conference:
Mikro-Nano-Integration - Beiträge des 5. GMM-Workshops
6
ZnO-Feldeffekttransistoren für flexible elektronische Schaltungen
Authors:
Hilleringmann, Ulrich; Vidor, Fábio F.
Conference:
Mikro-Nano-Integration - Beiträge des 5. GMM-Workshops