Display
Order by
Page 11 of 11

201

Vollständig Integrierte Plasma Elektronenquelle für ein Mikromassenspektrometer

Authors:
Wapelhorst, Eric; Hauschild, Jan-Peter; Müller, Jörg
Conference:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005

202

Vollständige Prozesskette zur Herstellung von Nickel- Formeinsätzen auf Basis von 6 Zoll Si-Wafern mit Hilfe der UVLithographie und des Resistsystems EPON SU-8

Authors:
Hein, Herbert; Guttmann, Markus; Johnigk, Carsten; Wilson, Sandra
Conference:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005

203

Wettbewerbsfähigkeit durch betriebliche Weiterbildung in der Mikrosystemtechnik

Authors:
Stenzel, Anja; Neuy, Christine
Conference:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005

204

Wieder entfernbarer Negativresist für die Mikrosystemtechnik

Authors:
Schirmer, Matthias
Conference:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005

205

Wirtschaftliches Deckeln temperaturempfindlicher Strukturen

Authors:
Tahhan, Isam; Blattert, C.; Jurischka, R.; Schoth, A.; Reinecke, H.
Conference:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005

206

Zell Monitoring System mit multiparametrischen CMOS Halbleiter Mikrosensorchips

Authors:
Baumann, Werner; Schreiber, Erik; Krause, Guido; Podssun, Angela; Homma, Susanne; Schrott, René; Beikirch, Helmut; Ehret, Ralf; Keuer, Andreas; Freund, Ingo; Lehmann, Mirko
Conference:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005

207

Zuverlässigkeit komplexer Systeme

Authors:
Schließer, Randolf; Krueger, Sven
Conference:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005

208

Zuverlässigkeitskonzepte von „Mikro bis Nano“ – Neue Anforderungen und Möglichkeiten der Zuverlässigkeitsbewertung für die Mikrosystemtechnik

Authors:
Michel, B.
Conference:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005