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161

PSM-X2: Polysilicon surface micromachining process platform for vacuum-packaged sensors

Authors:
Merz, P.; Reinert, W.; Reimer, K.; Wagner, B.
Conference:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005

162

Pulverspritzgießen nachbearbeitungsarmer Mikropräzisionsbauteile aus Keramik und Metall: Projektübersicht zu Micro-P-PIM

Authors:
Pannhorst, Johann; Ruprecht, Robert
Conference:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005

163

Rauheitsmessung an Mikrostrukturen

Authors:
Förster, Ralf; Reinecke, Holger; Hösel, Tim; Menz, Wolfgang; Christoph, Ralf; Andräs, Matthias
Conference:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005

164

Reduced Power Consumption of a Gradient Gas Sensor Microarray with Downsized Chip Geometry, Optimized Packaging And Nanogranular Gas Detection Layers

Authors:
Goschnick, Joachim; Walter, Thomas; Schneider, Thomas; Frietsch, Markus
Conference:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005

165

Referenzmarken bei der Montage aktiver Mikrosysteme

Authors:
Berndt, M.; Tutsch, R.; Schöttler, K.; Hesselbach, J.; Feldmann, M.; Büttgenbach, S.
Conference:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005

166

RFID-Anwendungen: Stand und Ausblick

Authors:
Gabriel, Peter
Conference:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005

167

RFID-Transponder im MID-Gehäuse

Authors:
Hehlgans, Jörg
Conference:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005

168

Sensorarray zur Luftqualitätsmessung

Authors:
Ament, Ch.; Bauersfeld, M.-L.; Kovacs, A.; Kritwattanakhorn, J.; Mescheder, U.; Müller, B.; Peter, A.; Radebacher, J.; Wöllenstein, J.
Conference:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005

169

Sensorsystem zur Echtzeitanalyse biomolekularer Wechselwirkungen

Authors:
Perpeet, M.; Gronewold, T.; Glaß, S.; Löhndorf, M.; Tewes, M.; Quandt, E.
Conference:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005

170

Silicon Microneedle Formation Using Modified Mask Designs Based on Convex Corner Undercut

Authors:
Wilke, N.; Hoffmann, D.; Monissey, A.
Conference:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005

171

Silicon-based tunable optical thin-film filters

Authors:
Hohlfeld, D.; Zappe, H.
Conference:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005

172

Silizium-Mikrogitter als Komponente eines optischen Bewegungssensors

Authors:
Leester-Schädel, M.; Morgeneyer, C.; Büttgenbach, S.; Prelle, C.; Lamarque, F.
Conference:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005

173

Simulation des Pulverspritzgießprozesses für Probekörper

Authors:
Heldele, R.; Müller, K.; Piotter, V.; Rohde, M.; Pannhorst, J.; Ruprecht, R.; Schulz, M.
Conference:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005

174

Smart Piezoelectric Bending Micro Actuator – An Integrated Inductive Non-Contact Proximity Sensor to Detect Tip Deflection

Authors:
Ballas, Rüdiger G.; Greiner, Paul F.; Schlaak, Helmut F.
Conference:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005

175

Spanende Fertigungsverfahren für die Herstellung von Mikrostrukturen

Authors:
Hoffmeister, H.-W.; Hlavac, M.
Conference:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005

176

Spritzgießen von Präzisionsbauteilen aus Al2O3 – Keramik für die Medizintechnik

Authors:
Bitz, G.; Mayer, H.; Yanarsönmez, S.; Heldele, R.; Oerlygsson, G.; Ruprecht, R.
Conference:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005

177

Spritzgießmaschine undWerkzeugtechnik für das Pulverspritzgießen von Präzisionsbauteilen

Authors:
Maetzig, Marko; Walcher, Hartmut; Pannhorst, Johann; Grieb, Walter
Conference:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005

178

Statische Mikromischer für chemische Reaktionen mit hohem Massendurchsatz

Authors:
Kockmann, Norbert; Engler, Michael; Kiefer, Thomas; Woias, Peter
Conference:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005

179

Steuerbarer CMOS-Metalloxid-Gassensor

Authors:
Wöllenstein, J.; Bauersfeld, M-L.; Moretton, E.; Frerichs, H. P.; Willbertz, C.; Doll, T.; Lehmann, M.
Conference:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005

180

Study of the Inlet Flow from a Flat Channel into the Microchannels of a Heat Exchanger using both µPIV and DNS

Authors:
Heinzel, V.; Imke, U.; Jianu, A.; Sauter, H.
Conference:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005