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1

Bewertungssystem zum Vergleich und zur Auswahl von Sensoren in der Multisensor-Koordinatenmesstechnik

Authors:
Fleischer, Jürgen; Peters, Jochen; Buchholz, Ivesa
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

2

Bio Impedance Spectroscopy with Textile Electrodes

Authors:
Zimmermann, Nadine; Gries, Thomas; Medrano, Guillermo; Leonhardt, Steffen
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

3

Bulge Testing of Silicon Nitride Thin Films at the Wafer Level

Authors:
Gaspar, J.; Smorodin, T.; Stecher, M.; Paul, O.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

4

Cantilever-Based Tactile Sensor with Improved Sensitivity for Dimensional Metrology of Microcomponents

Authors:
Spinner, S.; Spinner, S.; Cornils, M.; Paul, O.; Ruther, P.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

5

Chancen und Risiken autonomer verteilter Mikrosysteme

Authors:
Schischke, Karsten; Reichl, Herbert; Zuber, Karl Heinz; Beucker, Severin
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

6

Changes in the MEMS industry

Authors:
Wicht, Henning; Dixon, Richard; Bouchaud, Jérémie
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

7

Characterization of the DRIE Fabrication of Cell-Penetrating Microneedles

Authors:
Held, Jochen; Gaspar, Joao; Ruther, Patrick; Paul, Oliver
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

8

Charakterisierung mikrooptischer Abstandssensoren aus einer Versuchsfertigung - Beurteilung der Bauteil- und Montagetoleranzen -

Authors:
Hollenbach, U.; Gartner, M.; Grund, T.; Mohr, J.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

9

Chipintegrierter Brennstoffzellenakkumulator

Authors:
Frank, M.; Erdler, G.; Frerichs, H.-P.; Müller, C.; Reinecke, H.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

10

CMOS Integrated Smart Cilia

Authors:
Gieschke, P.; Held, J.; Doelle, M.; Bartholomeyczik, J.; Ruther, P.; Paul, O.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

11

CMOS Sensorsystem zur Untersuchung elektrisch aktiver Zellen

Authors:
Schrott, René; Tautorat, Carsten; Podssun, Angela; Koester, Philipp Julian; Kirchner, Klaus-Peter; Bausch, Gerold; Beikirch, Helmut; Baumann, Werner; Freund, Ingo
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

12

Comparison of low temperature bonding approaches for application in micro optical devices

Authors:
Hiller, Karla; Kurth, Steffen; Neumann, Norbert; Heinz, Steffen; Gessner, Thomas
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

13

Conducting silver hybrid particles for RFID applications

Authors:
Türke, Alexander; Pich, Andrij; Adler, H.-J. P.; Fischer, W.-J.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

14

Contact-free Component Assembly – A New Approach in Microsystem Packaging

Authors:
Becker, K.-F.; Fiedler, S.; Bauer, J.; Mollath, G.; Schreck, G.; Kolesnik, I.; Reichl, H.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

15

Dehnungsanalyse an ultradünnen Siliziumchips nach dem Umschmelzen von Gold/Zinn-Bumps

Authors:
Hungar, Kaspar; Schnakenberg, Uwe; Mokwa, Wilfried
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

16

Demonstration des Einsatzes flächiger low-cost-Sensoren am Beispiel eines trainingsunterstützenden Tischtennisschlägers

Authors:
Schuberth, Reinhard; Otto, Thomas; Schwerdtner, Robert; Bach, Duc; Wegener, Michael; Geßner, Thomas; Geßner, Thomas
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

17

Der verborgene Blistertest – eine neuartige zerstörungsfreie Testmethode zur Haftfestigkeitscharakterisierung von Full-Wafer- Bondverbindungen

Authors:
Rabold, Martin; Doll, Alexander; Goldschmidtböing, Frank; Woias, Peter
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

18

Design, Herstellung und Charakterisierung von SU-8 Cantilevern für AFM-Anwendungen

Authors:
Flämig, J.; Fülle, A.; Hammacher,  J.; Saupe,  J.; Zahn, W.; Vogel, J.; Grimm,  J.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

19

Development of an Inertial Navigation System for Determining the Pose of a Mobile Vehicle

Authors:
Mahamda, Haytham Qasem; Gorgis, Omar; Kostic, Milos; Reindl, Leonhard
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

20

Die Anwendung von magnetoresistiven Sensoren in der Humandiagnostik

Authors:
Ennen, Inga; Hütten, Andreas
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007