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1

Herstellung freitragender Mikrostrukturen aus SU-8

Authors:
Eicher, Dirk; Schlaak, Helmut F.
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop

2

Herstellung hochpräziser planarer Mikropumpen mit Hilfe des Direkt-LIGA-Verfahrens

Authors:
Kouba, J.; Voigt, A.; Götz, F.; Rudolph, I.; Heinrich, M.; Lilienhof, H.-J.; Waberski, Ch.; Stockhofe, Ch.; Scheunemann, H.-U.; Hollmann, H.; Gruetzner, G.; Löchel, B.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

3

Herstellung integrierter passiver Komponenten auf Wafer-Ebene

Authors:
Zoschke, Kai; Reichl, Herbert
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

4

Herstellung mikrostrukturierter Metallteile durch Mikroguss

Authors:
Baumeister, Gundi
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop

5

Herstellung und Charakterisierung von gesputterten Aluminiumnitrid- Dünnschichten für MEMS Anwendungen

Authors:
Ababneh, A.; Seidel, H.; Schmid, U.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

6

Herstellung und optische Charakterisierung siliziumnitrid-basierender photonischer Kristalle für Anwendungen im sichtbaren Bereich

Authors:
Kouba, J.; Eberhardt, W.; Loechel, B.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

7

Herstellung von Komponenten für Mikrobolometer auf der Basis von Polymerkompositen

Authors:
Nocke, Andreas; Wolf, Marcus; Budzier, Helmut; Moench, Ingolf; Arndt, Karl-Friedrich; Gerlach, Gerald
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

8

Herstellung von Mikrostrukturen mit hohem Aspektverhältnis durch Mikrozerspanung

Authors:
Gietzelt, T.; Eichhorn, L.
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop

9

Herstellung von polymeren Permanentstrukturen durch Nanoimprint

Authors:
Schleunitz, Arne; Kouba, Josef; Schondelmaier, Daniel; Löchel, Bernd
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop

10

Herstellung von Röntgenmasken in einem Zweistufenprozess mit dem Photoresist CAR 44

Authors:
Schirmer, Matthias
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop

11

Herstellung von Röntgenmasken in einem Zweistufenprozess mit dem Photoresist CAR 44

Authors:
Schirmer, Matthias
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

12

Herstellungsbedingte Abweichung der Orientierung anisotroper Dauermagnete und die Auswirkung auf das Betriebsverhalten elektrischer Maschinen und magnetischer Sensoren

Authors:
Jurisch, Frank
Conference:
Internationaler ETG-Kongress 2007 - Fachtagung 1: Hybridantrieb - Energieeffiziente elektrische Antriebe / Fachtagung 2: Kundennutzen durch neue Technologien in der Bahntechnik

13

Herstellungsverfahren für Vakuum gekapselte resonante Mikrospiegel auf Waferebene

Authors:
Oldsen, Marten; Hofmann, Ulrich; Quenzer, Hans-Joachim; Wagner, Bernd
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

14

Herzstück: Hocheffiziente permanentmagneterregte Synchronmotoren als Antrieb für Herz-Unterstützungspumpen

Authors:
Konstas, Georg; Weigel, Wolfgang; Nüsser, Peter
Conference:
Innovative Klein- und Mikroantriebstechnik - 7. GMM/ETG-Fachtagung

15

Heterointegration Technologies for Polytronic Systems

Authors:
Bock, Karlheinz
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

16

Hierarchical Handling of UNI/E-NNI Policy Data

Authors:
Hofmann, Stefan
Conference:
Photonische Netze - 8. ITG-Fachtagung

17

High Brightness Tapered Lasers based on Quantum Dots at 920 nm with Enhanced Temperature Stability of the Emission Wavelength for Uncooled Pump Applications

Authors:
Kaiser, W.; Debusmann, R.; Kamp, M.; Reithmaier, J. P.; Reithmaier, J. P.; Forchel, A.
Conference:
ECOC 2007 - 33rd European Conference and Exhibition of Optical Communication

18

High control in high power fiber lasers and amplifiers

Authors:
Jeong, Y.; Maran, J. N.; Yoo, S.; Boyland, A. J.; Sahu, J. K.; Nilsson, J.
Conference:
ECOC 2007 - 33rd European Conference and Exhibition of Optical Communication

19

High Current and Generator Circuit Breakers with Modern Vacuum Switching Technology

Authors:
Berger, Frank
Conference:
Internationaler ETG-Kongress 2007 - Fachtagung 3: Webbasierte Automatisierung in der elektrischen Energietechnik / Fachtagung 4: Schaltanlagen und Netze - Innovative Lösungen

20

High Efficiency and High Output Power Fiber Optic Parametric Amplifier

Authors:
Oda, Shoichiro; Sunnerud, Henrik; Andrekson, Peter A.
Conference:
ECOC 2007 - 33rd European Conference and Exhibition of Optical Communication