1
"Glas Gras" in Kieselglas für neue Integrationsmöglichkeiten in MEMS, MOEMS und BIOMEMS
Authors:
Lilienthal, Katharina; Stubenrauch, Mike; Fischer, Michael; Schober, Andreas
Conference:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops
2
AlN Sputter-Deposited Silicon Cantilever Resonators for Mass Sensing Fabricated Using ICP-DRIE
Authors:
Sökmen, Ü.; Waag, A.; Ababneh, A.; Seidel, H.; Schmid, U.; Peiner, E.
Conference:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops
3
Aluminiumnitrid Dünnschicht-Membranen - Nanokristalline Materialstruktur als Basis hoher mechanischer Stabilität
Authors:
Polster, T.; Hoffmann, M.
Conference:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops
4
Automatisierte nanorobotische Mikro-Nano-Integration zur Herstellung prototypischer Mikrosysteme mit Nanostrukturen
Authors:
Eichhorn, V.; Jasper, D.; Dahmen, C.; Fatikow, S.
Conference:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops
5
Biologische und physikalische Oberflächenprogrammierung für die Selbstassemblierung von kleinen Objekten
Authors:
Alberti, Martin; Yacoub-George, Erwin; Landesberger, Christof; Scherbaum, Sabine; Hell, Waltraud; Bock, Karlheinz
Conference:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops
6
Biomembran-Brennstoffzelle auf Basis modifizierter Kohlenstoff Nanoröhrchen
Authors:
Bogner, M.; Schnaithmann, M.; Sägebarth, J.; Sandmaier, H.
Conference:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops
7
Bondverfahren für Selbstjustierung und Mehrfachbonden basierend auf nasschemisch präparierten Si-Oberflächen
Authors:
Jonnalagadda, P.; Mescheder, U.; Kovacs, A.; Nimo, A.
Conference:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops
8
CNTs - a Comparable Study of CNT-filled Adhesives with Common Materials
Authors:
Heimann, Matthias; Boehme, Bjoern; Scheffler, Sebastian; Wirts-Ruetters, Martin; Wolter, Klaus-Juergen
Conference:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops
9
Contactless Handling and Precision Positioning of Smallest Components for Assembly of Microelectronics
Authors:
Braun, T.; Bauer, J.; Becker, K.-F.; Kahle, R.; Jung, E.; Koch, M.; Mollath, G.; Aschenbrenner, R.; Reichl, H.
Conference:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops
10
Direct UV-nanoimprint of polymer microring resonators as optical transducers
Authors:
Kirchner, Robert; Kirchner, Robert; Landgraf, René; Landgraf, René; Bertram, Marion; Fischer, Wolf-Joachim; Fischer, Wolf-Joachim
Conference:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops
11
Drucken von mikro- und nanoskaligen Funktionsschichten auf Thermoplasten zur Erhöhung der Integration mikrosystemtechnischer Packages
Authors:
Eberhardt, W.; Keck, J.; Willeck, H.; Polzinger, B.; Kück, H.
Conference:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops
12
Einsatz von nanokristallinem Aluminiumnitrid (AlN) in mikrosystemtechnischen Aktorkonzepten
Authors:
Leopold, Steffen; Polster, Tobias; Pätz, Daniel; Hoffmann, Martin
Conference:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops
13
Facilitating Innovation in Advanced Multimaterial Micro and Nanotechnologies
Authors:
Obermaier, Georg
Conference:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops
14
Großflächige Integration von ZnO-Nanopartikel-Transistoren
Authors:
Wolff, Karsten; Hilleringmann, Ulrich; Hilleringmann, Ulrich
Conference:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops
15
Hochauflösende Metrologie für die Mikro-Nanointegration
Authors:
Krause, Michael; Klengel, Robert; Cismak, Andreas; Petzold, Matthias; Altmann, Frank
Conference:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops
16
Hochgenaue Positionsbestimmung und Topologievermessung
Authors:
Petter, Jürgen; Nicolaus, Ralf; Wienke, Olaf
Conference:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops
17
Hochtemperaturtaugliche Chip-Substrat-Kontaktierung opto-elektronischer Bauelemente mittels Fineplacer-Verbindungstechnik (FpV)
Authors:
Kähler, Julian; Stranz, Andrej; Heuck, Nicolas; Fündling, Sönke; Palm, Gerhard; Waag, Andreas; Peiner, Erwin
Conference:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops
18
Integration von Nanodrahtarrays in Mikrosysteme für die Gasflusssensorik
Authors:
Quednau, S.; Greiner, F.; Schlaak, H. F.; Rauber, M.; Rauber, M.; Neumann, R.; Ensinger, W.
Conference:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops
19
Messung von thermoelektrischen Eigenschaften an Silizium-basierten Nanosäulen
Authors:
Stranz, A.; Sökmen, Ü.; Kähler, J.; Peiner, E.; Waag, A.
Conference:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops
20
Mikroelektroden - Theorie und Praxis
Authors:
Pliquett, Uwe; Nacke, Thomas; Barthel, Andreas; Frense, Dieter; Beckmann, Dieter
Conference:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops