1
Aktivierung mittels Niederdruckplasma zur Herstellung von Si-Verbunden im Niedertemperatur-Bereich und deren Charakterisierung mittels Mikro-Chevron-Test
Authors:
Wünsch, Dirk; Müller, Benedikt; Wiemer, Maik; Geßner, Thomas; Mischke, Helge
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop
2
Anwendung des ICP-DRIE-Kryotrockenätzprozesses für anisotrope Strukturen in Silizium
Authors:
Sökmen, Ü.; Fündling, S.; Merzsch, S.; Stranz, A.; Neumann, R.; Li, S. F.; Wehmann, H.-H.; Peiner, E.; Waag, A.
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop
3
Dotierte Ba0,6Sr0,4TiO3-Dickschichten für steuerbare passive Mikrowellenkomponenten
Authors:
Zhou, X.; Zhou, X.; Sazegar, M.; Geßwein, H.; Binder, J. R.; Jakoby, R.; Haußelt, J.
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop
4
Fabrication of 3D nanostructures by direct laser writing
Authors:
Radke, A.; Radke, A.; Wolff, F.; Giessen, H.; Klotzbücher, T.
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop
5
Ferroelektrische Polymere und Ferroelektrete als piezoelektrische Wandler in großflächigen taktilen Sensor-Arrays
Authors:
Wegener, Michael; Schuberth, Reinhard; Morschhauser, Andreas; Otto, Thomas
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop
6
Generative Herstelltechnologien im Mikro- und Nanobereich zu Aufbau und Kontaktierung von Mikro-Mechatronischen Systeme
Authors:
Ansorge, Frank; Stigler, Thomas; Heumann, Katja; Ifland, David; Reichl, Herbert
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop
7
Hermetischer Verschluss biomedizinischer Geräte mittels Solderjet Bumping
Authors:
Burkhardt, T.; Hornaff, M.; Burkhardt, T.; Beckert, E.; Possner, T.; Eberhardt, R.; Tünnermann, A.; Tünnermann, A.
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop
8
Herstellung und Replikation von großformatigen Formeinsätzen mit Mikrodüsenarrays durch Galvanoformung von geprägten Kunststoffbauteilen mit hohem Aspektverhältnis
Authors:
Kaiser, Konradin; Kolew, Alexander; Guttmann, Markus; Wissmann, Markus
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop
9
Herstellung von komplexen Mikrobauteilen durch Ein- und Zweikomponenten-Pulverspritzgießen
Authors:
Müller, Tobias; Ruh, Andreas; Piotter, Volker; Ritzhaupt-Kleissl, Hans-Joachim
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop
10
Integration von feinmechanischen Verfahren in die Mikrotechnik zur kostengünstigen Herstellung von magnetischen Mikrosystemarrays
Authors:
Staab, Matthias; Schlaak, Helmut F.
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop
11
Integration von Sensor-Aktor-Funkionsmaterialien für die Realisierung energieautarker binärer Sensoren
Authors:
Frank, Thomas; Gerlach, Gerald; Steinke, Arndt
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop
12
Magnetic print head chips comprising 3D-redistribution layers, MEMS coils and magnetic circuits in a Multi-Chip-Module for serial production
Authors:
Doms, Marco; Braun, Franz J.; Krämer, Kurt; Espanet, Anne
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop
13
Mechanische Eigenschaften und Stressuntersuchungen von SU-8-Schichten für mikromechanische Anwendungen und Bauelemente
Authors:
Schönfeld, Maik; Cappek, Manfred; Aßmann, Heiko; Saupe, Jens; Feige, Hans-Jürgen; Vogel, Jürgen; Grimm, Jürgen
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop
14
Mikro-Nano-Silberpulver für die Chip-Substrat-Kontaktierung mittels Drucksintern
Authors:
Kähler, Julian; Stranz, Andrej; Heuck, Nicolas; Fündling, Sönke; Palm, Gerhard; Waag, Andreas; Peiner, Erwin
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop
15
Mikrospezifische Festigkeitssteigerung von keramischen Mikrobiegebalken durch Oberflächendefektausheilung während der thermischen Entbinderung
Authors:
Çetinel, Fatih A.; Müller, Marcus; Bauer, Werner; Haußelt, Jürgen
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop
16
Mikrostrukturierung von dünnen Kunststofffolien durch Heißprägen
Authors:
Baum, Mario; Vetter, Christian; Haehnel, Markus; Hänel, Jens; Wiemer, Maik; Geßner, Thomas; Geßner, Thomas
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop
17
Nasschemisches Entfernen dicker SU-8-Schichten aus galvanisch abgeschiedenen Strukturen
Authors:
Schlosser, Michael; Staab, Matthias; Schlaak, Helmut F.
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop
18
Neue TMR-Schichtsysteme für Sensoranwendungen
Authors:
Paul, Johannes; Gerken, Anna; Marien, Jan; Negulescu, Beatrice; Hehn, Michel; Duret, Christophe
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop
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Optimierung von piezoelektrischen Pumpaktoren für adaptive Linsen mit großer Apertur
Authors:
Draheim, Jan; Kamberger, Robert; Burger, Tobias; Schneider, Florian; Wallrabe, Ulrike; Wallrabe, Ulrike
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop
20
Overlay (Top-to-bottom) Metrologie an Si-Waferpacks mittels IR optimiertem Mikroskop - und andere Anwendungen
Authors:
Scheuring, Gerd; Döbereiner, Stefan; Brück, Hans-Jürgen
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop