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1

Aktivierung mittels Niederdruckplasma zur Herstellung von Si-Verbunden im Niedertemperatur-Bereich und deren Charakterisierung mittels Mikro-Chevron-Test

Authors:
Wünsch, Dirk; Müller, Benedikt; Wiemer, Maik; Geßner, Thomas; Mischke, Helge
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop

2

Anwendung des ICP-DRIE-Kryotrockenätzprozesses für anisotrope Strukturen in Silizium

Authors:
Sökmen, Ü.; Fündling, S.; Merzsch, S.; Stranz, A.; Neumann, R.; Li, S. F.; Wehmann, H.-H.; Peiner, E.; Waag, A.
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop

3

Dotierte Ba0,6Sr0,4TiO3-Dickschichten für steuerbare passive Mikrowellenkomponenten

Authors:
Zhou, X.; Zhou, X.; Sazegar, M.; Geßwein, H.; Binder, J. R.; Jakoby, R.; Haußelt, J.
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop

4

Fabrication of 3D nanostructures by direct laser writing

Authors:
Radke, A.; Radke, A.; Wolff, F.; Giessen, H.; Klotzbücher, T.
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop

5

Ferroelektrische Polymere und Ferroelektrete als piezoelektrische Wandler in großflächigen taktilen Sensor-Arrays

Authors:
Wegener, Michael; Schuberth, Reinhard; Morschhauser, Andreas; Otto, Thomas
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop

6

Generative Herstelltechnologien im Mikro- und Nanobereich zu Aufbau und Kontaktierung von Mikro-Mechatronischen Systeme

Authors:
Ansorge, Frank; Stigler, Thomas; Heumann, Katja; Ifland, David; Reichl, Herbert
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop

7

Hermetischer Verschluss biomedizinischer Geräte mittels Solderjet Bumping

Authors:
Burkhardt, T.; Hornaff, M.; Burkhardt, T.; Beckert, E.; Possner, T.; Eberhardt, R.; Tünnermann, A.; Tünnermann, A.
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop

8

Herstellung und Replikation von großformatigen Formeinsätzen mit Mikrodüsenarrays durch Galvanoformung von geprägten Kunststoffbauteilen mit hohem Aspektverhältnis

Authors:
Kaiser, Konradin; Kolew, Alexander; Guttmann, Markus; Wissmann, Markus
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop

9

Herstellung von komplexen Mikrobauteilen durch Ein- und Zweikomponenten-Pulverspritzgießen

Authors:
Müller, Tobias; Ruh, Andreas; Piotter, Volker; Ritzhaupt-Kleissl, Hans-Joachim
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop

10

Integration von feinmechanischen Verfahren in die Mikrotechnik zur kostengünstigen Herstellung von magnetischen Mikrosystemarrays

Authors:
Staab, Matthias; Schlaak, Helmut F.
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop

11

Integration von Sensor-Aktor-Funkionsmaterialien für die Realisierung energieautarker binärer Sensoren

Authors:
Frank, Thomas; Gerlach, Gerald; Steinke, Arndt
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop

12

Magnetic print head chips comprising 3D-redistribution layers, MEMS coils and magnetic circuits in a Multi-Chip-Module for serial production

Authors:
Doms, Marco; Braun, Franz J.; Krämer, Kurt; Espanet, Anne
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop

13

Mechanische Eigenschaften und Stressuntersuchungen von SU-8-Schichten für mikromechanische Anwendungen und Bauelemente

Authors:
Schönfeld, Maik; Cappek, Manfred; Aßmann, Heiko; Saupe, Jens; Feige, Hans-Jürgen; Vogel, Jürgen; Grimm, Jürgen
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop

14

Mikro-Nano-Silberpulver für die Chip-Substrat-Kontaktierung mittels Drucksintern

Authors:
Kähler, Julian; Stranz, Andrej; Heuck, Nicolas; Fündling, Sönke; Palm, Gerhard; Waag, Andreas; Peiner, Erwin
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop

15

Mikrospezifische Festigkeitssteigerung von keramischen Mikrobiegebalken durch Oberflächendefektausheilung während der thermischen Entbinderung

Authors:
Çetinel, Fatih A.; Müller, Marcus; Bauer, Werner; Haußelt, Jürgen
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop

16

Mikrostrukturierung von dünnen Kunststofffolien durch Heißprägen

Authors:
Baum, Mario; Vetter, Christian; Haehnel, Markus; Hänel, Jens; Wiemer, Maik; Geßner, Thomas; Geßner, Thomas
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop

17

Nasschemisches Entfernen dicker SU-8-Schichten aus galvanisch abgeschiedenen Strukturen

Authors:
Schlosser, Michael; Staab, Matthias; Schlaak, Helmut F.
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop

18

Neue TMR-Schichtsysteme für Sensoranwendungen

Authors:
Paul, Johannes; Gerken, Anna; Marien, Jan; Negulescu, Beatrice; Hehn, Michel; Duret, Christophe
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop

19

Optimierung von piezoelektrischen Pumpaktoren für adaptive Linsen mit großer Apertur

Authors:
Draheim, Jan; Kamberger, Robert; Burger, Tobias; Schneider, Florian; Wallrabe, Ulrike; Wallrabe, Ulrike
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop

20

Overlay (Top-to-bottom) Metrologie an Si-Waferpacks mittels IR optimiertem Mikroskop - und andere Anwendungen

Authors:
Scheuring, Gerd; Döbereiner, Stefan; Brück, Hans-Jürgen
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop