1
Automatisierte Handhabung und Montage von anpassbaren AFM-Messspitzen
Authors:
Bartenwerfer, M.; Eichhorn, V.; Jasper, D.; Fatikow, S.
Conference:
Mikro-Nano-Integration - 3. GMM-Workshop
2
Bestimmung von Eigenspannungen im Mikro-Nano-Übergangsbereich mit verschiedenen Analysemethoden - Möglichkeiten und Grenzen
Authors:
Vogel, D.; Auerswald, E.; Gollhardt, A.; Michel, B.
Conference:
Mikro-Nano-Integration - 3. GMM-Workshop
3
Energieeffiziente, miniaturisierte magnetoresistive Sensoren auf TMR-Basis für Anwendungen im Automobil
Authors:
Paul, Johannes; Gerken, Anna; Slatter, Rolf; Duret, Christophe; Negulescu, Beatrice; Hehn, Michel
Conference:
Mikro-Nano-Integration - 3. GMM-Workshop
4
Enrichment of Rare Cells from Whole Blood for Chip-based Analysis
Authors:
Roeser, Tina; Hauch, Sigfried; Fetisch, Jasmin; Schwind, Carmen; Stein, Volkmar; Strobach, Xenia; Drese, Klaus Stefan; Ritzi-Lehnert, Marion
Conference:
Mikro-Nano-Integration - 3. GMM-Workshop
5
Erste Ergebnisse elektrostatischer Aktuatorik auf Basis UV-aushärtender Polymere
Authors:
Lange, N.; Lange, N.; Wippermann, F.; Leitel, R.; Bruchmann, C.; Bruchmann, C.; Beckert, E.; Eberhardt, R.; Tünnermann, A.; Tünnermann, A.
Conference:
Mikro-Nano-Integration - 3. GMM-Workshop
6
Erzeugung nadelförmiger Nanostrukturen aus Aluminiumnitrid (AlN) durch reaktives Plasmaätzen
Authors:
Leopold, Steffen; Polster, Tobias; Geiling, Thomas; Hoffmann, Martin
Conference:
Mikro-Nano-Integration - 3. GMM-Workshop
7
EUMINAfab - A European Infrastructure for micro and nano fabrication and characterisation
Authors:
Anson, Susan; Meyer, Tanja
Conference:
Mikro-Nano-Integration - 3. GMM-Workshop
8
Fabrication of Sub-500 nm Source and Drain Electrodes for Organic Field Effect Transistor using UV Nanoimprint Lithography with Low-Cost Silicon Mold and Lift-Off Process
Authors:
Teng, Lichao; Kirchner, Robert; Kirchner, Robert; Plötner, Matthias; Jahn, Andreas; He, Jian; Hagemann, Falk; Fischer, Wolf-Joachim; Fischer, Wolf-Joachim
Conference:
Mikro-Nano-Integration - 3. GMM-Workshop
9
Grenzflächendiffusion und Adhäsionsverhalten nanostrukturierter Epoxidharzverbunde in Sensorapplikationen
Authors:
Walter, H.; Bauer, J.; Keller, J.; Hölck, O.; Hölck, O.; Becker, K.-F.; Wunderle, B.; Braun, T.; Wittler, O.
Conference:
Mikro-Nano-Integration - 3. GMM-Workshop
10
In-Situ Erzeugung von Arrays aus metallischen Mikro- und Nanodrähten in Silizium-Mikrosystemen
Authors:
Quednau, Sebastian; Schlaak, Helmut F.
Conference:
Mikro-Nano-Integration - 3. GMM-Workshop
11
Inkjet-Druck und Niedertemperatur-Sintern von Ag-Nanopartikeltinten auf Polymersubstraten
Authors:
Pabst, Oliver; Pabst, Oliver; Perelaer, Jolke; Hornaff, Marcel; Beckert, Erik; Becker, Holger; Schubert, Ulrich S.; Eberhardt, Ramona; Tünnermann, Andreas; Tünnermann, Andreas
Conference:
Mikro-Nano-Integration - 3. GMM-Workshop
12
Integration von nanoskaligen Feldeffekttransistoren mit Zinkoxid-Nanopartikeln auf Glassubstrat
Authors:
Assion, Fabian; Wolff, Karsten; Hilleringmann, Ulrich
Conference:
Mikro-Nano-Integration - 3. GMM-Workshop
13
Integration von passiven und aktiven Bauelementen mittels innovativer Drucktechniken
Authors:
Schön, F.; Keck, J.; Willeck, H.; Eberhardt, W.; Polzinger, B.; Kück, H.; Strecker, M.; Frühauf, N.
Conference:
Mikro-Nano-Integration - 3. GMM-Workshop
14
Methode zur Herstellung eines portablen, hierarchisch strukturierten und multifunktionalen Mikropartikelarrays
Authors:
Hensel, René; Braun, Hans-Georg
Conference:
Mikro-Nano-Integration - 3. GMM-Workshop
15
Mikrointegration von Nanostrukturen mittels Dielektrophorese (DEP)
Authors:
Leiterer, Christian; Jahr, Norbert; Berg, Steffen; Brönstrup, Gerald; Csaki, Andrea; Christiansen, Silke; Fritzsche, Wolfgang
Conference:
Mikro-Nano-Integration - 3. GMM-Workshop
16
Multilayer Nano-Imprint-Lithography Mold Fabrication Process
Authors:
Finn, A.; Jahn, A.; Kirchner, R.; Künzelmann, U.; He, J.; Waegner, M.; Fischer, W.-J.; Fischer, W.-J.
Conference:
Mikro-Nano-Integration - 3. GMM-Workshop
17
Niedrigtemperatur-Transfer von vertikal ausgerichteten Kohlenstoff Nanoröhren auf Mikrostrukturen
Authors:
Nick, Christoph; Joshi, Ravi; Schneider, Jörg J.; Thielemann, Christiane
Conference:
Mikro-Nano-Integration - 3. GMM-Workshop
18
Non-destructive testing of integrated nanostructures using 3D polarization control in an optical microscope
Authors:
Härtling, Thomas; Olk, Phillip; Kullock, René; M. Eng, Lukas
Conference:
Mikro-Nano-Integration - 3. GMM-Workshop
19
Prozessoptimierung zur Herstellung von zweidimensionalen photonischen Kristallen mittels Nanoimprint Lithografie
Authors:
Bischoff, Janika; Senn, Tobias; Nüsse, Nils; Schoengen, Max; Löchel, Bernd
Conference:
Mikro-Nano-Integration - 3. GMM-Workshop
20
Simulation der Selbstorganisierten Mikromontage auf Mikro-Nanostrukturen
Authors:
Boufercha, Nourdin; Schnaithmann, Matthias; Sägebarth, Joachim; Sandmaier, Hermann
Conference:
Mikro-Nano-Integration - 3. GMM-Workshop