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Experimentelle Untersuchung und theoretische Betrachtung zur gravimetrisch kontrollierten IR-Trocknung dicker SU-8-Schichten

Authors:
Schönfeld, Maik; Saupe, Jens; Vogel, Jürgen; Aßmann, Heiko; Cappek, Manfred; Lemke, Stephanie; Löchel, Bernd; Grimm, Jürgen
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

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Fehlerfrüherkennungssystem für Flugzeugpropeller auf Basis integrierter MFC-Sensoren

Authors:
Ruemmler, Norbert; Schlott, Friedrich; Riesberg, Florian; Gesch, Helmuth; Harasim, Anton; Leschik, Josef; Schmitt-Walter, Stefan; Albrecht, Martin G.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

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Fehlertolerante und fertigungsgerechte Entwurfsauslegung mikrooptischer Systeme

Authors:
Sieber, Ingo
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

84

Fertigung & Charakterisierung hartmagnetischer Dünnfilmschichten

Authors:
Chen, Jue; Ruffert, Christine; Rissing, Lutz
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

85

Fertigungskette zur nachbearbeitungsfreien Herstellung von polymeren Mikrohohlnadelarrays

Authors:
Rieper, Tina; Welte, Gregor; Müller, Claas; Hochstein, David; Auber, Johannes; Schumacher, Axel; Spieth, Sven; Reinecke, Holger; Reinecke, Holger
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

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Flachbauendes Mikroskop: Ein mikrooptisches Abbildungssystem für digitale Nahaufnahmen

Authors:
Brückner, Andreas; Wippermann, Frank; Leitel, Robert; Dannberg, Peter; Buß, Wolfgang; Höfer, Bernd; Bräuer, Andreas; Duparré, Jacques
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

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Flexibles taktiles Sensorarray für Robotik- und Prothetikanwendungen

Authors:
Häfner, Joachim; Görtz, Michael; Mokwa, Wilfried
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

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Fluidischer Separator für Zweiphasengemische

Authors:
Eichler, Marko; Nagel, Krees; Hennecke, Philipp; Klages, Claus-Peter
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

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Freistehende Siliziumoxid-Mikrokanäle für biophysikalische Messungen und Mikroskopie

Authors:
Feindt, H.; Zhang, D.; Wang, Y.; Burg, T. P.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

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Galvanische Abscheidung von hochporösen Platin-Elektroden mit einstellbarer spezifischer Oberfläche für die implantierbare Glukose-Brennstoffzelle

Authors:
Kloke, A.; Köhler, C.; Zengerle, R.; Zengerle, R.; Zengerle, R.; Kerzenmacher, S.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

91

Geregelte Auslese eines AMR-Sensors mit impliziter Digitalisierung des magnetischen Eingangssignals

Authors:
Kuderer, M.; Monastyrnyy, S.; Manoli, Y.; Manoli, Y.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

92

Herausforderungen der verteilten Ereigniserkennung in drahtlosen Sensornetzen

Authors:
Dziengel, Norman; Ziegert, Marco; Adler, Stephan; Kasmi, Zakaria; Schiller, Jochen
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

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Hermetic Glass-Thin-Film for Wafer-Level-Packaging of Sensors and ICs

Authors:
Leib, Jürgen; Hansen, Ulli; Maus, Simon; Zoschke, Kai; Hauck, Karin; Töpper, Michael
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

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Herstellung eines Mikroaktors zur Anregung der Perilymphe bei Schwerhörigkeit

Authors:
Creutzburg, T.; Cvetkovi?, S.; Rissing, L.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

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Herstellung großflächiger optischer Gitter mittels Röntgentiefenlithographie und anschließender Stapelung

Authors:
Börner, Martin; Hofmann, Andreas; Hummel, Benjamin; Mohr, Jürgen; Lohrke, H.; Brunner, Robert
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

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Herstellung Silicumoxycarbid-basierter mikrostrukturierter Bauteile mittels Photolithographie- und Soft Lithographie-Verfahren

Authors:
Ionescu, E.; Crespiera, S. Martinez; Schlosser, M.; Schlaak, H. F.; Riedel, R.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

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Herstellung und AVT von hochtemperaturtauglichen piezoresistiven Wheatstone-Brücken für Sensorik in rauen Umgebungen

Authors:
Kaehler, J.; Merzsch, S.; Stranz, A.; Waag, A.; Peiner, E.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

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Herstellung und Charakterisierung perforierter und poröser Membranmodulen für Mikro- und Nanofiltration

Authors:
Kovacs, A.; Mescheder, U.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

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HF-MEMS Schalter mit ohmschen Kontakt und lateraler Bewegungsrichtung

Authors:
Leidich, Stefan; Kurth, Steffen; Nowack, Markus; Bertz, Andreas; Frömel, Jörg; Kaufmann, Christian; Gessner, Thomas; Akiba, Akira; Ikeda, Koichi
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

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Hocheffizientes piezoelektrisches Energy Harvesting System mit neuartiger selbstregelnder 'Direct-SSHI' Interfaceschaltung

Authors:
Becker, P.; Hong, W.; Hoffmann, D.; Hymon, E.; Folkmer, B.; Manoli, Y.; Manoli, Y.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011