81
Experimentelle Untersuchung und theoretische Betrachtung zur gravimetrisch kontrollierten IR-Trocknung dicker SU-8-Schichten
Authors:
Schönfeld, Maik; Saupe, Jens; Vogel, Jürgen; Aßmann, Heiko; Cappek, Manfred; Lemke, Stephanie; Löchel, Bernd; Grimm, Jürgen
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
82
Fehlerfrüherkennungssystem für Flugzeugpropeller auf Basis integrierter MFC-Sensoren
Authors:
Ruemmler, Norbert; Schlott, Friedrich; Riesberg, Florian; Gesch, Helmuth; Harasim, Anton; Leschik, Josef; Schmitt-Walter, Stefan; Albrecht, Martin G.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
83
Fehlertolerante und fertigungsgerechte Entwurfsauslegung mikrooptischer Systeme
Authors:
Sieber, Ingo
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
84
Fertigung & Charakterisierung hartmagnetischer Dünnfilmschichten
Authors:
Chen, Jue; Ruffert, Christine; Rissing, Lutz
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
85
Fertigungskette zur nachbearbeitungsfreien Herstellung von polymeren Mikrohohlnadelarrays
Authors:
Rieper, Tina; Welte, Gregor; Müller, Claas; Hochstein, David; Auber, Johannes; Schumacher, Axel; Spieth, Sven; Reinecke, Holger; Reinecke, Holger
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
86
Flachbauendes Mikroskop: Ein mikrooptisches Abbildungssystem für digitale Nahaufnahmen
Authors:
Brückner, Andreas; Wippermann, Frank; Leitel, Robert; Dannberg, Peter; Buß, Wolfgang; Höfer, Bernd; Bräuer, Andreas; Duparré, Jacques
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
87
Flexibles taktiles Sensorarray für Robotik- und Prothetikanwendungen
Authors:
Häfner, Joachim; Görtz, Michael; Mokwa, Wilfried
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
88
Fluidischer Separator für Zweiphasengemische
Authors:
Eichler, Marko; Nagel, Krees; Hennecke, Philipp; Klages, Claus-Peter
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
89
Freistehende Siliziumoxid-Mikrokanäle für biophysikalische Messungen und Mikroskopie
Authors:
Feindt, H.; Zhang, D.; Wang, Y.; Burg, T. P.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
90
Galvanische Abscheidung von hochporösen Platin-Elektroden mit einstellbarer spezifischer Oberfläche für die implantierbare Glukose-Brennstoffzelle
Authors:
Kloke, A.; Köhler, C.; Zengerle, R.; Zengerle, R.; Zengerle, R.; Kerzenmacher, S.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
91
Geregelte Auslese eines AMR-Sensors mit impliziter Digitalisierung des magnetischen Eingangssignals
Authors:
Kuderer, M.; Monastyrnyy, S.; Manoli, Y.; Manoli, Y.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
92
Herausforderungen der verteilten Ereigniserkennung in drahtlosen Sensornetzen
Authors:
Dziengel, Norman; Ziegert, Marco; Adler, Stephan; Kasmi, Zakaria; Schiller, Jochen
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
93
Hermetic Glass-Thin-Film for Wafer-Level-Packaging of Sensors and ICs
Authors:
Leib, Jürgen; Hansen, Ulli; Maus, Simon; Zoschke, Kai; Hauck, Karin; Töpper, Michael
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
94
Herstellung eines Mikroaktors zur Anregung der Perilymphe bei Schwerhörigkeit
Authors:
Creutzburg, T.; Cvetkovi?, S.; Rissing, L.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
95
Herstellung großflächiger optischer Gitter mittels Röntgentiefenlithographie und anschließender Stapelung
Authors:
Börner, Martin; Hofmann, Andreas; Hummel, Benjamin; Mohr, Jürgen; Lohrke, H.; Brunner, Robert
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
96
Herstellung Silicumoxycarbid-basierter mikrostrukturierter Bauteile mittels Photolithographie- und Soft Lithographie-Verfahren
Authors:
Ionescu, E.; Crespiera, S. Martinez; Schlosser, M.; Schlaak, H. F.; Riedel, R.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
97
Herstellung und AVT von hochtemperaturtauglichen piezoresistiven Wheatstone-Brücken für Sensorik in rauen Umgebungen
Authors:
Kaehler, J.; Merzsch, S.; Stranz, A.; Waag, A.; Peiner, E.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
98
Herstellung und Charakterisierung perforierter und poröser Membranmodulen für Mikro- und Nanofiltration
Authors:
Kovacs, A.; Mescheder, U.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
99
HF-MEMS Schalter mit ohmschen Kontakt und lateraler Bewegungsrichtung
Authors:
Leidich, Stefan; Kurth, Steffen; Nowack, Markus; Bertz, Andreas; Frömel, Jörg; Kaufmann, Christian; Gessner, Thomas; Akiba, Akira; Ikeda, Koichi
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
100
Hocheffizientes piezoelektrisches Energy Harvesting System mit neuartiger selbstregelnder 'Direct-SSHI' Interfaceschaltung
Authors:
Becker, P.; Hong, W.; Hoffmann, D.; Hymon, E.; Folkmer, B.; Manoli, Y.; Manoli, Y.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011