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1

Experimentelle Evaluierung piezokeramischer Materialien für nicht-lineare Energy Harvesting Vibrationswandler

Authors:
Neiss, S.; Goldschmidtboeing, F.; Kroener, M.; Woias, P.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

2

Farb- und Multispektralsensoren mit CMOS-Nanostrukturen zur LED-Lichtsteuerung

Authors:
Junger, Stephan; Verwaal, Nanko; Tschekalinskij, Wladimir; Weber, Norbert
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

3

Fernmonitoring komplexer Fertigungsprozesse mit Hochgeschwindigkeits-Bildsensoren

Authors:
Döge, Jens; Schäfer, Edgar
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

4

Fertigung eines Mikroaktors zur Manipulation von Nanopartikeln auf einem Glassubstrat

Authors:
Kaiser, M.; Delyagina, E.; Steinhoff, G.; Rissing, L.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

5

Fertigung laminarer optischer Gitter am HZB

Authors:
Lemke, Stephanie; Seliger, Tino; Naß, Christopher; Göttert, Philipp; Rudolph, Ivo; Kutz, Oliver; Gwalt, Grzegorz; Nelles, Bruno; Senf, Fridmar; Löchel, Bernd
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

6

Fertigung mehrlagiger mikrofluidischer Papier-Systeme mittels Wachsdruck

Authors:
Hecht, Lars; Mattern, Kai M.; Dietzel, Andreas
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

7

Fertigung von Mikrotaststiften und kugelförmigen Mikrokavitäten mittels Mikrofunkenerosion

Authors:
Ferreira, N.; Metz, D.; Krah, T.; Richter, C.; Dietzel, A.; Härtig, F.; Büttgenbach, S.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

8

Flachbauende Multiaperturkameras mit Freiformarrays hergestellt in Wafer Level Technologie

Authors:
Dunkel, J.; Brückner, A.; Reimann, A.; Wippermann, F.; Bräuer, A.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

9

Flexible Heißfilm-Anemometrie-Arrays zur Strömungsmessung an gekrümmten Strukturen

Authors:
Schwerter, Martin; Beutel, Tobias; Leester-Schädel, Monika; Dietzel, Andreas; Büttgenbach, Stephanus
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

10

Flexible Mehrlagen-Schaltungen in Dünnschichttechnik: Technologien und Charakteristika

Authors:
Kaiser, Alexander; Rueß, Karin; Matej, Paul; Herbort, Christian; Holl, Bruno; Bauböck, Günther
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

11

Flexible Systeme in Folie – Intelligente Haut für Maschinen

Authors:
Harendt, Christine; Burghartz, Joachim N.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

12

Flexible Verkapselungsschichten für intelligente Mikroimplantate

Authors:
Weinmann, Michael; Nisch, Wilfried; Stett, Alfred; Bucher, Volker; Urban, Gerald
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

13

Flip-Chip Technologie für Anwendungstemperaturen > 250 °C

Authors:
Heiermann, Wolfgang; Geruschke, Thomas; Ruß, Marco; Vogt, Holger
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

14

Fluidischer Partikeltransport an Grenzflächen durch aktorisch bewegte Mikrohaare mit schaltbarer Nanostrukturierung

Authors:
Rockenbach, A.; Kunder, M.; Uhlmann, P.; Brücker, C.; Hess, A.; Schnakenberg, U.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

15

Folienaktor aus einer ferromagnetischen Formgedächtnislegierung

Authors:
Pinneker, V.; Sozinov, A.; Kohl, M.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

16

Freiform Einzelschicht-Biegewandler: Neue Designfreiheit für Piezoaktoren

Authors:
Wapler, Matthias C.; Brunne, Jens; Wallrabe, Ulrike
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

17

Funktionale 3D-Strukturierung von Keramiken zur Herstellung sensorischer Mikrosysteme

Authors:
Ziesche, Steffen; Lenz, Christian; Lohrberg, Carolin
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

18

Galois-Streuscheiben

Authors:
Fouckhardt, Henning; Jaax, Michael; Wolff, Sandra; Lägel, Bert
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

19

Gasaustauschsystem mit hochgradig parallelisierten Mikrokanälen

Authors:
Rieper, T.; Wehrstein, B.; Maurer, A. N.; Müller, C.; Reinecke, H.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

20

Gedruckte ferritkernbasierte Ringkernspulen als Magnetfeldsensoren

Authors:
Keck, J.; Polzinger, B.; Eberhardt, W.; Kück, H.; Giousouf, M.; A. Kießling,; Schreivogel, A.; J. Kostelnik,
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen