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1

Mikrokraftsensor als Transfernormal für die Kalibrierung von Antastkräften

Authors:
Bütefisch, S.; Weimann, T.; Danzebrink, H.-U.; Flügge, J.; Solzbacher, F.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

2

Mikrolasertracker zur multisensorischen 3D-Koordinatenmessung

Authors:
Markweg, Eric; Weinberger, Stefan; Nguyen, Tran Trung; Schädel, Martin; Brodersen, Olaf; Ament, Christoph; Hoffmann, Martin
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

3

Mikrooptisches head-mounted Display

Authors:
Schreiber, Peter; Sieler, Marcel
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

4

Mikropumpe mit elektrostatischem Direktantrieb

Authors:
Dittrich, L.; Endrödy, C.; Hoffmann, M.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

5

Mikrosysteme für die Zellmanipulation

Authors:
Garcés Diedrich, Mayra; Hoxhold, Björn; Beutel, Tobias; Ferreira, Nelson; Leester-Schädel, Monika; Büttgenbach, Stephanus; Dietzel, Andreas
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

6

Mikrosystemtechnische Realisierung eines Zeitbereichsfilters für ultrakurze optische Pulse

Authors:
Bohling, M.; Jahns, J.; Mohr, J.; Börner, M.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

7

Mikrothermischer Sensor zur Bestimmung von Methanolkonzentration und Strömungsgeschwindigkeit für Direktmethanolbrennstoffzellen

Authors:
Schmitt, Bastian; Kiefer, Christian; Schütze, Andreas
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

8

Mikrotropfenerzeuger Hergestellt mit Rapid Manufacturing Verfahren

Authors:
Kagerer, Markus; Eiler, Kenji L.; Ottnad, Thomas; Irlinger, Franz; Lueth, Tim C.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

9

Miniaturisierte optische Integrationsplattform für III-N basierte opto-chemische Detektoren

Authors:
Kleindienst, R.; Cimalla, V.; Eickhoff, M.; Grewe, A.; Holc, K.; Schätzle, J.; Schörmann, J.; Schwarz, U.; Teubert, J.; Sinzinger, S.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

10

Mobile Robotik in der Halbleiterfertigung

Authors:
Pollack, Steffen
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

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Modeling the adhesion between nanoneedle surfaces bonded based on Velcro® or Gecko principle

Authors:
Keshavarzi, Shervin; Mescheder, Ulrich; Reinecke, Holger
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

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Monolithisch-integrierte Through-Silicon Vias für Grounding, Power Distribution Networks und System-on-Chip Anwendungen

Authors:
Wietstruck, M.; Kaynak, M.; Marschmeyer, S.; Göritz, A.; Tolunay, S.; Tillack, B.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

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Multifunktionaler Werkzeugwechsler für den Einsatz in mikrotechnischen Prozessketten – Messen, Prüfen, Montieren

Authors:
Boese, Christoph; Dietzel, Andreas; Büttgenbach, Stephanus
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

14

Nano-modifiziertes flexibles Mikroelektroden-Array mit integriertem CMOS-Chip für medizinische Anwendungen

Authors:
Winkin, N.; Gierth, U.; Michaelis, A.; Mokwa, W.; Rabbow, T.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

15

Nanoabguss von rauen Glasoberflächen für die optische Lichtstreuung

Authors:
Döring, Christoph; Hein, Eric; Saiad, Mohamed Oulad; Fouckhardt, Henning
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

16

Nanofluidic gates for diffusion-free controlled release from microfluidic devices

Authors:
Jones, P. D.; Molares, M. E. Toimil; Trautmann, C.; Stelzle, M.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

17

Neuartige laserinduzierte ITO Nanodrähte für Gassensorik-Anwendungen

Authors:
Afshar, M.; Preiß, E.; Sauerwald, T.; Schütze, A.; Feili, D.; Seidel, H.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

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Neue Märkte durch intelligente Inertialsensorsysteme

Authors:
Schunke, Stefan
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

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Neue Materialien und Konzepte für Biobrennstoffzellen

Authors:
Kerzenmacher, S.; Danzer, J.; Erben, J.; Kipf, E.; Kloke, A.; Köhler, C.; Sané, S.; Zengerle, R.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

20

Neuer optischer Sensor zur Bestimmung des Ecklastfehlers in Waagen

Authors:
Müller, Ralf; Völlmeke, Stefan; Förster, Erik
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen