1
Microfluidic organ-on-chip system for monitoring 3D breast cancer stem cell cultures
Authors:
Dornhof, Johannes; Kieninger, Jochen; Muralidharan, Harshini; Maurer, Jochen; Urban, Gerald A.; Weltin, Andreas
Conference:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
2
Microoptics for flat display backlighting
Authors:
Streppel, Ulrich; Widholz, Georg
Conference:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
3
Mikrogefertigter Multi-Frequenz-Ultraschallwandler für die Implantat-zu-Implantat-Kommunikation
Authors:
Velten, Thomas; Oevermann, Jorge; Weber, Peter; Sossalla, Adam; Knoll, Thorsten; Kebkal, Konstantin; Bannasch, Rudolf
Conference:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
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Mikromechanisch strukturierter, CMOS-kompatibler pyroelektrischer Detektor auf der Basis von dotiertem HfO2 in Trenchzellen
Authors:
Mutschall, Doris; Kaiser, Alena; Lehmkau, Robin; Ebermann, Martin; Neumann, Norbert; Mart, Clemens; Eßlinger, Sophia; Neuber, Markus; Weinreich, Wenke; Hiller, Karla; Seiler, Jan; Großmann, Toni D.; Shaporin, Alexey; Günther, Wolfgang
Conference:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
5
Mikromechanischer Konstant-Kraft Taster zur Stimulation und Analyse von Zellen
Authors:
Thewes, Anna Christina; Schmitt, Philip; Löhler, Philipp; Hoffmann, Martin
Conference:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
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Mikrosysteme zur Messung von Haftreib- und Gleitreibfaktoren an DRIE geätzten Seitenwänden bei hohen Normalkräften im mN-Bereich
Authors:
Mehner, Hannes; Schmitt, Philip; Hoffmann, Martin
Conference:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
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Mikrotechnologische Fertigung von integrierten optischen Gittern mittels Lift-Off-Prozess für den Einsatz in Atominterferometern
Authors:
de Wall, Sascha; Kassner, Alexander; Dencker, Folke; Künzler, Christoph; Diekmann, Leonard; Wurz, Marc Christopher
Conference:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
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Miniaturisierte Einkoppeloptik für SNSPDs
Authors:
Möller, Christian; Schildhauer, Tony; Winzer, Andreas T.; Ortlepp, Thomas
Conference:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
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Miniaturisierter optischer Drehwinkelsensor mit integrierter Interpolation
Authors:
Seybold, Jonathan; Buelau, Andre; Fritz, Karl-Peter; Zimmermann, Andre; Frank, Alexander; Scherjon, Cor; Burghartz, Joachim
Conference:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
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Miniaturisierung hochsensitiver, hitzdrahtbasierter Massenflusssensoren mit Hilfe von Halbleiterfertigungstechnologie
Authors:
Seidl, Martin; Schrag, Gabriele; Tumpold, David; Klein, Wolfgang
Conference:
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Miniaturized annular arrays for focused ultrasound
Authors:
Krenkel, Marcel; Koch, Sandro G.; Reitz, Sven; Scharf, Patrick; Ernst, Daniel; Wolf, Mario
Conference:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
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Miniaturized Infrared lenses by wafer bonding technologies
Authors:
Kulkarni, Amit; Laske, Norman; Schulz-Walsemann, Arne-Veit; Kuehl, Anja; Hagge, Juergen; Meyenburg, Ingo; Quenzer, Hans-Joachim
Conference:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
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Modeling and Manufacturing of an Electrostatically Driven Actuator for Micropumps
Authors:
Leistner, Henry; Anheuer, Daniel; Bosetti, Gabriele; Schrag, Gabriele; Richter, Martin
Conference:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
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Modifikation eines Cryo-basierten Reaktiven Ionenätzprozesses zur Herstellung von bioinspirierten Nanokonusstrukturen
Authors:
Doll, Patrick W.; Schmidt-Speicher, Leona; Bacher, Andreas; Muslija, Alban; Ahrens, Ralf; Guber, Andreas E.
Conference:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
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Monolithic integration of in-plane hybrid III-V/Si photonic devices
Authors:
Scherrer, Markus; Tiwari, Preksha; Trivino, Noelia Vico; Mauthe, Svenja; Wen, Pengyan; Schmid, Heinz; Moselund, Kirsten Emilie
Conference:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
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Multi-Axis Micro Force Sensor Based on a CMOS Integrated Chip
Authors:
Folkmer, Bernd; Hehn, Thorsten; Koehler, Manuel; Willmann, Alexander; Landler-Gaertner, Daniel; Dehe, Alfons
Conference:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
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Nachhaltigkeit in der Elektronik – Eine Bestandsaufnahme
Authors:
Kerbusch, Jochen; Gaass, Markus; Fiehler, Vera; Wenzel, Marita; Zehm, Antje
Conference:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
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Navigating Automatic Test Equipment Production in changing times and times of uncertainty
Authors:
Saidani, Fida
Conference:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
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Neuartige Methode zur ladungsunabhängigen Dosismessung bei Ionenimplantation
Authors:
Maier, Tim; Akhmadaliev, Shavkat; Bischof, Tina; Csato, Constantin; Gerold, Marcel; Koch, Robert; Kraus, Matthias; Krippendorf, Florian; Zowalla, Andre; Rüb, Michael
Conference:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
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Neue Aufbau- und Verbindungstechnik für die Kontaktierung leistungselektronischer Bauteile Ergebnisse aus dem BMBF-Förderprojekt ThermoFreq
Authors:
Nachtigall-Schellenberg, Christian; Wilke, Klaus
Conference:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress