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21

Innovative Mikrofertigung: Mehrkomponenten-Mikrospritzgießen

Authors:
Piotter, V.; Plewa, K.; Prokop, J.; Ruprecht, R.; Haußelt, J.
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop

22

Laser Trimming of Micro Mirror Devices

Authors:
Hänel, Jens; Keiper, Bernd; Bleul, Karsten; Kaufmann, Christian; Bonitz, Jens
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop

23

Laserbearbeitung von glasartigem Kohlenstoff zur Produktion von Mikrofluidstrukturen für die Herstellung von Radiopharmaka

Authors:
Scheuenpflug, Michael; Schmöller, Markus; Lüth, Tim
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop

24

Lasergestützte Prozesse für Polymerwerkstoffe in der Mikro- und Nanotechnik - Strukturierung, Modifizierung und Verbindungstechnik

Authors:
Pfleging, Wilhelm; Lorenz, Julia; Schierjott, Phillip; Welle, Alexander; Wilson, Sandra; Wilson, Sandra
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop

25

Legierungsabscheidung für LIGA-Mikroteile und Werkzeugen am Beispiel von Ni-Fe und Ni-W

Authors:
Bade, K.; Haj-Taieb, M.; Haseeb, A. S. M. A.
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop

26

Mikro-Nano-Integration für die Mikrosystemtechnik

Authors:
Coskina, Paradiso
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop

27

Mikrofertigungstechniken zur Strukturierung von porösen Materialien für die Dünnschichtchromatografie

Authors:
Chemnitz, Steffen; Kugelbrey, Karl; Stoyanov, Ivan; Werner, Martin; Bornemeier, Jan; Tewes, Michael
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop

28

Mikrostrukturierung von Glas

Authors:
Hülsenberg, Dagmar; Brokmann, Ulrike; Hesse, Annett; Ludwig, Yvonne; Mrotzek, Susanne
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop

29

Mikrostrukturierung von Glas am Beispiel mikrofluidischer Produkte

Authors:
Dietrich, Thomas R.
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop

30

Mikrosystemtechnik – eine Zukunftstechnologie mit wirtschaftlichem Risiko?

Authors:
Herrnsdorf, Johannes
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop

31

Modelluntersuchungen zum Verschleiß- und Entformungsverhalten von Formeinsatz-Werkstoffen für das Mikro-Pulverspritzgießen

Authors:
Schneider, Johannes; Milich, Marcel; Gahr, Karl-Heinz zum
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop

32

Modifizierung von Polymereigenschaften durch nanoskalige Dotierstoffe

Authors:
Hanemann, Thomas; Hanemann, Thomas; Böhm, Johannes; Böhm, Johannes; Ritzhaupt-Kleissl, Eberhard; Ritzhaupt-Kleissl, Eberhard; Schumacher, Benedikt; Schumacher, Benedikt; Haußelt, Jürgen; Haußelt, Jürgen
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop

33

Neue piezoelektrische Materialien für die Mikroaktorik

Authors:
Kügeler, Carsten; Pithan, Christian; Böttger, Ulrich; Waser, Rainer; Waser, Rainer
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop

34

Neue Technologie zur Herstellung monokristalliner Silizium-Membranen auf Basis von porösem Silizium

Authors:
Knese, K.; Armbruster, S.; Benzel, H.; Schelling, C.; Brasas, J.; Lammel, G.; Illing, M.; Seidel, H.
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop

35

Oberflächenmikromechanik - Schlüsseltechnologie für Automotive und Consumersensoren

Authors:
Bischof, Udo
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop

36

PDMS – Möglichkeiten und Designrichtlinien zur Prototypen- und Kleinserienfertigung funktioneller Strukturen in Silikon

Authors:
Göttsche, Thorsten; Gronmaier, Roland
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop

37

Silizium-Technologien für leistungsfähige, multi-axiale Sensorcluster auf einem Chip

Authors:
Link, Thomas; Trächtler, Martin; Nommensen, Peter; Auber, Johannes; Reinecke, Holger
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop

38

SU-8 als Material für die Fertigung hochpräziser LIGA-Röntgenlinsen

Authors:
Last, A.; Reznikova, E.; Last, A.; Nazmov, V.; Nazmov, V.; Simon, M.
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop

39

Technologie pyrotechnischer Bauelemente mit porösem Silizium

Authors:
Völlmeke, Stefan; Bartuch, Herbert
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop

40

Toroid-Mikroinduktoren mit magnetischen Nanokompositen für HF-Anwendungen

Authors:
Schürmann, Ulrich; Greve, Henry; Hettstedt, Falk; Quandt, Eckhard; Quandt, Eckhard; Gerber, Andreas; Schmutz, Clemens; Zaporojtchenko, Vladimir; Knöchel, Reinhard; Faupel, Franz
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop