21
Innovative Mikrofertigung: Mehrkomponenten-Mikrospritzgießen
Authors:
Piotter, V.; Plewa, K.; Prokop, J.; Ruprecht, R.; Haußelt, J.
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
22
Laser Trimming of Micro Mirror Devices
Authors:
Hänel, Jens; Keiper, Bernd; Bleul, Karsten; Kaufmann, Christian; Bonitz, Jens
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
23
Laserbearbeitung von glasartigem Kohlenstoff zur Produktion von Mikrofluidstrukturen für die Herstellung von Radiopharmaka
Authors:
Scheuenpflug, Michael; Schmöller, Markus; Lüth, Tim
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
24
Lasergestützte Prozesse für Polymerwerkstoffe in der Mikro- und Nanotechnik - Strukturierung, Modifizierung und Verbindungstechnik
Authors:
Pfleging, Wilhelm; Lorenz, Julia; Schierjott, Phillip; Welle, Alexander; Wilson, Sandra; Wilson, Sandra
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
25
Legierungsabscheidung für LIGA-Mikroteile und Werkzeugen am Beispiel von Ni-Fe und Ni-W
Authors:
Bade, K.; Haj-Taieb, M.; Haseeb, A. S. M. A.
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
26
Mikro-Nano-Integration für die Mikrosystemtechnik
Authors:
Coskina, Paradiso
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
27
Mikrofertigungstechniken zur Strukturierung von porösen Materialien für die Dünnschichtchromatografie
Authors:
Chemnitz, Steffen; Kugelbrey, Karl; Stoyanov, Ivan; Werner, Martin; Bornemeier, Jan; Tewes, Michael
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
28
Mikrostrukturierung von Glas
Authors:
Hülsenberg, Dagmar; Brokmann, Ulrike; Hesse, Annett; Ludwig, Yvonne; Mrotzek, Susanne
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
29
Mikrostrukturierung von Glas am Beispiel mikrofluidischer Produkte
Authors:
Dietrich, Thomas R.
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
30
Mikrosystemtechnik – eine Zukunftstechnologie mit wirtschaftlichem Risiko?
Authors:
Herrnsdorf, Johannes
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
31
Modelluntersuchungen zum Verschleiß- und Entformungsverhalten von Formeinsatz-Werkstoffen für das Mikro-Pulverspritzgießen
Authors:
Schneider, Johannes; Milich, Marcel; Gahr, Karl-Heinz zum
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
32
Modifizierung von Polymereigenschaften durch nanoskalige Dotierstoffe
Authors:
Hanemann, Thomas; Hanemann, Thomas; Böhm, Johannes; Böhm, Johannes; Ritzhaupt-Kleissl, Eberhard; Ritzhaupt-Kleissl, Eberhard; Schumacher, Benedikt; Schumacher, Benedikt; Haußelt, Jürgen; Haußelt, Jürgen
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
33
Neue piezoelektrische Materialien für die Mikroaktorik
Authors:
Kügeler, Carsten; Pithan, Christian; Böttger, Ulrich; Waser, Rainer; Waser, Rainer
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
34
Neue Technologie zur Herstellung monokristalliner Silizium-Membranen auf Basis von porösem Silizium
Authors:
Knese, K.; Armbruster, S.; Benzel, H.; Schelling, C.; Brasas, J.; Lammel, G.; Illing, M.; Seidel, H.
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
35
Oberflächenmikromechanik - Schlüsseltechnologie für Automotive und Consumersensoren
Authors:
Bischof, Udo
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
36
PDMS – Möglichkeiten und Designrichtlinien zur Prototypen- und Kleinserienfertigung funktioneller Strukturen in Silikon
Authors:
Göttsche, Thorsten; Gronmaier, Roland
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
37
Silizium-Technologien für leistungsfähige, multi-axiale Sensorcluster auf einem Chip
Authors:
Link, Thomas; Trächtler, Martin; Nommensen, Peter; Auber, Johannes; Reinecke, Holger
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
38
SU-8 als Material für die Fertigung hochpräziser LIGA-Röntgenlinsen
Authors:
Last, A.; Reznikova, E.; Last, A.; Nazmov, V.; Nazmov, V.; Simon, M.
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
39
Technologie pyrotechnischer Bauelemente mit porösem Silizium
Authors:
Völlmeke, Stefan; Bartuch, Herbert
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
40
Toroid-Mikroinduktoren mit magnetischen Nanokompositen für HF-Anwendungen
Authors:
Schürmann, Ulrich; Greve, Henry; Hettstedt, Falk; Quandt, Eckhard; Quandt, Eckhard; Gerber, Andreas; Schmutz, Clemens; Zaporojtchenko, Vladimir; Knöchel, Reinhard; Faupel, Franz
Conference:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop