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Digital holographic two-wavelength contouring of high speed MEMS using ultrashort laser pulses

Authors:
Hansel, Thomas; Steinmeyer, Günter; Grunwald, Rüdiger; Griebner, Uwe; Falldorf, Claas; Kopylow, Christoph von; Bonitz, Jens; Kaufmann, Christian
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

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Direkt-LIGA-NiFe-Zahnräder mit extremen Aspektverhältnissen für Micro Harmonic Drive(R) Getriebe

Authors:
Kirsch, Udo; Grützner, Gabi; Löchel, Bernd; Degen, Reinhard; Bednarzik, Martin; Waberski, Christoph; Ahrens, Gisela; Engelke, Rainer
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

43

Direkte und inverse Kinematik für ein Lasertrackersystem mit Galvanometerscanner

Authors:
Wachten, Christian; Müller, Claas; Ament, Christoph; Reinecke, Holger
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

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Drahtlose Überwachung physikalischer Parameter in metallischen Behältern für luftfahrtbezogene Anwendungen

Authors:
Ngo, Luong van; Kluge, Martin; Sabater, Jordi; Schalk, Josef; Seidel, Helmut; Schmid, Ulrich
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

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e-manufacturing mit Mikro Laser-Sintern

Authors:
Büse, Hans-Ulrich; Petsch, Tino
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

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Ein Mikromassenspektrometer in MEMS Technologie für mobile und stationäre Anwendungen

Authors:
Hauschild, Jan-Peter; Wapelhorst, Eric; Müller, Jörg
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

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Eine neue Biochipplattform für die klinische Diagnostik

Authors:
Brandstetter, Thomas; Wagner, Katrin; Brefka, Thomas; Neumann, Thorsten; Moschallski, Meike; Prucker, Oswald; Rühe, Jürgen
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

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Eine neue Methode zur Untersuchung der durch AVT-Verfahren verursachten thermomechanischen Spannungen mittels eines Testchips

Authors:
Majcherek, S.; Leneke, T.; Ranzenberger, B.; Hirsch, S.; Schmidt, B.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

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Einfluss der Aufbau- und Verbindungstechnik auf die funktionalen Eigenschaften von Hallsensoren

Authors:
Fischer, Sebastian; Wilde, Jürgen
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

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Einfluss unterschiedlicher Passivierungsschichten auf die Bildungsrate von porösem Silizium an Strukturkanten bei der 3DFormherstellung

Authors:
Ivanov, Alexey; Mescheder, Ulrich; Kovacs, Andras; Huster, Rolf
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

51

Einfluss von Verlustmechanismen in OFW-Bauteilen auf die Akustomigration

Authors:
Jewula, Tomasz; Ruile, Werner; Zidek, Herbert; Reindl, Leonhard; Courty, Diana
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

52

Einflüsse auf die Laufzeitbestimmung bei der transienten FEM-Simulation von akustischen Sender-Empfänger-Anordnungen

Authors:
Friedrich, Sebastian; Pfeifer, Günther
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

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Einsatz translatorischer MOEMS-Aktoren für FTIRSpektrometer

Authors:
Sandner, Thilo; Schenk, Harald; Lakner, Hubert; Kenda, Andreas; Scherf, Werner
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

54

Einsatz von Atmosphärendruck-Mikroplasmen für die Aufbau- und Verbindungstechnik

Authors:
Eichler, M.; Michel, B.; Thomas, M.; Klages, C.-P.; Klages, C.-P.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

55

Einsatz von Schmelzklebstoffen zur Montage von MEMS und MOEMS

Authors:
Hemken, G.; Böhm, S.; Dilger, K.; Raatz, A.; Rathmann, S.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

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Einsatzmöglichkeiten der Mikrosystemtechnik in der dezentralen Energietechnik: Stand der Technik, Anforderungen, FuE-Bedarf

Authors:
Heusinger, Peter; Ronge, Karlheinz
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

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Electro Wetting - Transport von Mikrotropfen auf lithographisch hergestellten, ultra-hydrophoben Oberflächen

Authors:
Mertsch, Olaf; Schondelmaier, Daniel; Walter, Antje D.; Rudolph, Ivo; Löchel, Bernd
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

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Electrostatic Micro Energy Harvesting Devices based on SOI-Technology

Authors:
Bartsch, U.; Gaspar, J.; Ruther, P.; Paul, O.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

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Elektrostatisch angetriebenes Silizium-Membranventil für Gasanalysesysteme

Authors:
Feind, Holger; Çubukçu, Ali Sükrü; Müller, Jörg
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

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Elektrothermische Aktoren aus SU-8 für den Einsatz in miniaturisierten Schrittantrieb

Authors:
Eicher, Dirk; Schlaak, Helmut F.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007