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221

Wafer-Herstellung piezoresistiver Kragbalkensensoren

Autoren:
Bartuch, Herbert; Völlmeke, Stefan; Doering, Lutz; Brand, Uwe; Peiner, Erwin
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

222

Waferlevel-Vakuum gekapselte 2D-Mikrospiegel-Scanner für kompakte Laserprojektions-Displays im Automobil

Autoren:
Hofmann, Ulrich; Baumann, Sönke; Oldsen, Marten; Janes, Joachim; Wagner, Bernhard
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

223

224

Wellenleiterkoppler für die mikrointerferometrische Aktorregelung

Autoren:
Kornfeld, Andreas; Kolleck, Christian; Ostendorf, Andreas
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

225

Wildau-Life Manufacturing Center

Autoren:
Wolter, Nick; Böhme, Andrea; Kowolik, Jan; Lietzau, Kai-Henning; Edel, Carl-Heinz; Foitzik, Andreas
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

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Wissenstransfer über Ausbildungsnetzwerke am Beispiel des „Ausbildungsnetzwerk Hochtechnologie Berlin“

Autoren:
Schütz, Thorsten
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009