1
Gasblasengetriebene Pumpe für Mikroreaktoren
Autoren:
Paust, N.; Litterst, C.; Metz, T.; Zengerle, R.; Koltay, P.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
2
Generation of Multi-Energy Domain Macromodels of Highly Perforated and Deformable Microstructures Exposed to Squeeze Film Damping
Autoren:
Niessner, Martin; Schrag, Gabriele; Wachutka, Gerhard
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
3
Generation of µ - hydrogel spots for cell biology: a new tool for tissue engineering and stem cell culture
Autoren:
Ehrhart, F.; Gepp, M. M.; Baunach, J. J. S.; Wählisch, F.; Dörr, D.; Howitz, S.; Stark, R. W.; Zimmermann, H.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
4
Geregeltes Flüssigkeiten-Dosiersystem für portable Anwendungen
Autoren:
Götz, Martin; Storz, Matthias; Ashauer, Matthias; Zengerle, Roland
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
5
Gesteuerte Verdampfung als fluidischer Transportmechanismus in geregelten Medikamentendosiersystemen
Autoren:
Vosseler, Michael; Dobmeier, Michael; Blaesing, Marius; Stehr, Manfred; Aslanidis, Georgios; Zengerle, Roland
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
6
Glukose-Brennstoffzellen als autarke Energieversorgung für medizinische Mikro-Implantate: Stand der Technik und aktuelle Entwicklungen
Autoren:
Kerzenmacher, Sven; Stetten, Felix von; Ducrée, Jens; Zengerle, Roland; Zengerle, Roland
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
7
Greifsysteme für das Fügen mit schmelzklebstoffvorbeschichteten Bauteilen zur Fertigung von MEMS und MOEMS
Autoren:
Rathmann, Sven; Raatz, Annika; Dietrich, Franz; Hemken, Gregor; Böhm, Stefan
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
8
Heißprägen mit einem Silikonkautschukstempel
Autoren:
Mayr, Andreas; Sommer, Stefanie; Strobelt, Tilo; Osterwinter, Heinz
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
9
Herstellung hochpräziser planarer Mikropumpen mit Hilfe des Direkt-LIGA-Verfahrens
Autoren:
Kouba, J.; Voigt, A.; Götz, F.; Rudolph, I.; Heinrich, M.; Lilienhof, H.-J.; Waberski, Ch.; Stockhofe, Ch.; Scheunemann, H.-U.; Hollmann, H.; Gruetzner, G.; Löchel, B.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
10
Herstellung integrierter passiver Komponenten auf Wafer-Ebene
Autoren:
Zoschke, Kai; Reichl, Herbert
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
11
Herstellung und Charakterisierung von gesputterten Aluminiumnitrid- Dünnschichten für MEMS Anwendungen
Autoren:
Ababneh, A.; Seidel, H.; Schmid, U.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
12
Herstellung und optische Charakterisierung siliziumnitrid-basierender photonischer Kristalle für Anwendungen im sichtbaren Bereich
Autoren:
Kouba, J.; Eberhardt, W.; Loechel, B.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
13
Herstellung von Komponenten für Mikrobolometer auf der Basis von Polymerkompositen
Autoren:
Nocke, Andreas; Wolf, Marcus; Budzier, Helmut; Moench, Ingolf; Arndt, Karl-Friedrich; Gerlach, Gerald
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
14
Herstellung von Röntgenmasken in einem Zweistufenprozess mit dem Photoresist CAR 44
Autoren:
Schirmer, Matthias
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
15
Herstellungsverfahren für Vakuum gekapselte resonante Mikrospiegel auf Waferebene
Autoren:
Oldsen, Marten; Hofmann, Ulrich; Quenzer, Hans-Joachim; Wagner, Bernd
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
16
Heterointegration Technologies for Polytronic Systems
Autoren:
Bock, Karlheinz
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
17
High speed video analysis of μ-capsule formation for life science applications
Autoren:
Ehrhart, F.; Meiser, I.; Graf, C.; Müller, K.; Shirley, S. G.; Sukhourukov, V. L.; Zimmermann, U.; Zimmermann, H.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
18
Hochauflösende Flächenlichtmodulatoren auf Basis von Mikrospiegelmatrizen
Autoren:
Wagner, Michael; Dürr, Peter; Dauderstädt, Ulrike; Gehner, Andreas; Friedrichs, Martin; Schmidt, Jan-Uwe; Lakner, Hubert
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
19
Hochentwickelte Integrations- und Packagingtechnologien für miniaturisierte Systeme
Autoren:
Lang, Klaus-Dieter
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
20
Hochreflektiver mikromechanischer Scanner für Materialbearbeitung und medizinische Anwendungen
Autoren:
Bonitz, J.; Bundesmann, C.; Eichentopf, I.-M.; Mändl, S.; Neumann, H.; Kaufmann, C.; Gessner, T.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007