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1

Greifsysteme für das Fügen mit schmelzklebstoffvorbeschichteten Bauteilen zur Fertigung von MEMS und MOEMS

Autoren:
Rathmann, Sven; Raatz, Annika; Dietrich, Franz; Hemken, Gregor; Böhm, Stefan
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

2

Großflächige Erzeugung nanoskaliger Punktstrukturen im Sub-100nm-Bereich durch Kantenabscheidung

Autoren:
Wolff, Karsten; Hilleringmann, Ulrich
Konferenz:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop

3

Guaranteeing Service Availability in Connection Provisioning

Autoren:
Schupke, Dominic A.
Konferenz:
Photonische Netze - 8. ITG-Fachtagung

4

Guidance and polarization properties of an anisotropic microstructured fibre

Autoren:
Delgado-Pinar, M.; Dez, A.; Torres-Peir, S.; Pinheiro-Ortega, T.; Silvestre, E.; Andrs, M. V.
Konferenz:
ECOC 2007 - 33rd European Conference and Exhibition of Optical Communication

5

Harmonisierung PLM relevanter Prozesse in einem internationalen Unternehmen

Autoren:
Stein, Peter
Konferenz:
Product Life live 2007 - Das Know-how zum Management des Produktlebens

6

Heißprägen mit einem Silikonkautschukprägestempel

Autoren:
Mayr, Andreas; Sommer, Stefanie; Strobelt, Tilo; Osterwinter, Heinz
Konferenz:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop

7

Heißprägen mit einem Silikonkautschukstempel

Autoren:
Mayr, Andreas; Sommer, Stefanie; Strobelt, Tilo; Osterwinter, Heinz
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

8

Herstellung freitragender Mikrostrukturen aus SU-8

Autoren:
Eicher, Dirk; Schlaak, Helmut F.
Konferenz:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop

9

Herstellung hochpräziser planarer Mikropumpen mit Hilfe des Direkt-LIGA-Verfahrens

Autoren:
Kouba, J.; Voigt, A.; Götz, F.; Rudolph, I.; Heinrich, M.; Lilienhof, H.-J.; Waberski, Ch.; Stockhofe, Ch.; Scheunemann, H.-U.; Hollmann, H.; Gruetzner, G.; Löchel, B.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

10

Herstellung integrierter passiver Komponenten auf Wafer-Ebene

Autoren:
Zoschke, Kai; Reichl, Herbert
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

11

Herstellung mikrostrukturierter Metallteile durch Mikroguss

Autoren:
Baumeister, Gundi
Konferenz:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop

12

Herstellung und Charakterisierung von gesputterten Aluminiumnitrid- Dünnschichten für MEMS Anwendungen

Autoren:
Ababneh, A.; Seidel, H.; Schmid, U.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

13

Herstellung und optische Charakterisierung siliziumnitrid-basierender photonischer Kristalle für Anwendungen im sichtbaren Bereich

Autoren:
Kouba, J.; Eberhardt, W.; Loechel, B.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

14

Herstellung von Komponenten für Mikrobolometer auf der Basis von Polymerkompositen

Autoren:
Nocke, Andreas; Wolf, Marcus; Budzier, Helmut; Moench, Ingolf; Arndt, Karl-Friedrich; Gerlach, Gerald
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

15

Herstellung von Mikrostrukturen mit hohem Aspektverhältnis durch Mikrozerspanung

Autoren:
Gietzelt, T.; Eichhorn, L.
Konferenz:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop

16

Herstellung von polymeren Permanentstrukturen durch Nanoimprint

Autoren:
Schleunitz, Arne; Kouba, Josef; Schondelmaier, Daniel; Löchel, Bernd
Konferenz:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop

17

Herstellung von Röntgenmasken in einem Zweistufenprozess mit dem Photoresist CAR 44

Autoren:
Schirmer, Matthias
Konferenz:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop

18

Herstellung von Röntgenmasken in einem Zweistufenprozess mit dem Photoresist CAR 44

Autoren:
Schirmer, Matthias
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

19

Herstellungsbedingte Abweichung der Orientierung anisotroper Dauermagnete und die Auswirkung auf das Betriebsverhalten elektrischer Maschinen und magnetischer Sensoren

Autoren:
Jurisch, Frank
Konferenz:
Internationaler ETG-Kongress 2007 - Fachtagung 1: Hybridantrieb - Energieeffiziente elektrische Antriebe / Fachtagung 2: Kundennutzen durch neue Technologien in der Bahntechnik

20

Herstellungsverfahren für Vakuum gekapselte resonante Mikrospiegel auf Waferebene

Autoren:
Oldsen, Marten; Hofmann, Ulrich; Quenzer, Hans-Joachim; Wagner, Bernd
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007