Neue Möglichkeiten der Systemintegration in der Leistungselektronik mittels planarer integrierter Mikrotransformatoren

Inhalt:
Es wird ein Überblick über die technologische Realisierbarkeit und die elektrische Eigenschaften von planaren Mikrotransformatoren, integriert in einem Halbleiterprozess, gegeben. Der Mikrotransformator wird mit Hilfe von einigen zusätzlichen Schritten zu einem IC-Standardherstellungsprozess hergestellt. Er ist auf der Oberfläche eines Schaltkreises integriert und bietet eine Spannungsfestigkeit von mehreren Kilovolt zwischen der primären- und der sekundären Wicklung. Die Anwendung der planaren Mikrotransformatoren in der Leistungselektronik ermöglicht eine Erhöhung der Arbeitstemperaturen, der maximalen Frequenzen und der Zuverlässigkeit der Systeme. Die planaren Mikrotransformatoren samt der Ansteuer- und Auswerteschaltung zeigen sehr gute EMV-Eigenschaften.