Automatisierte Montage auf der Mikro- und Nanoskala
Konferenz: Mikro-Nano-Integration - 1. GMM-Workshops
12.03.2009 - 13.03.2009 in Seeheim, Germany
Tagungsband: Mikro-Nano-Integration
Seiten: 6Sprache: EnglischTyp: PDF
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Autoren:
Wich, Thomas; Stolle, Christian (Abteilung Mikrorobotik und Regelungstechnik, Universität Oldenburg)
Inhalt:
In dieser Arbeit wird ein serieller, automatisierter Montageprozess auf der Nanoskala im Rasterelektronenmikroskop vorgestellt. Als Beispielprozess wird eine Kohlenstoffnanoröhre auf der Spitze eines Rasterkraftmikroskops befestigt. Schlüsselprozesse der Mikro- und Nanomontage wie Fügen, Trennen, Justage, Registrierung, Transport und Qualitätskontrolle werden identifiziert und mögliche Lösungen werden aufgezeigt. Dies wird vervollständigt durch die Angabe genereller Designrichtlinien zur Synthese erfolgreicher Montageprozesse auf der Mikro- und Nanoskala.