Heterogeneously Integrated SOI Compound Semiconductor Photonics
Konferenz: ECOC 2009 - 35th European Conference on Optical Communication
20.09.2009 - 24.09.2009 in Vienna, Austria
Tagungsband: ECOC 2009
Seiten: 3Sprache: EnglischTyp: PDF
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Autoren:
Thourhout, Dries Van; Roelkens, Gunther (Photonics Research Group, INTEC, Ghent University - IMEC, Belgium)
Inhalt:
We present a review of recent progress in III-V on silicon heterogeneous integration technology. Both fabrication technology and devices are discussed.