TMR-Schichtsysteme für Sensoranwendungen
Konferenz: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009
12.10.2009 - 14.10.2009 in Berlin
Tagungsband: MikroSystemTechnik
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
Persönliche VDE-Mitglieder erhalten auf diesen Artikel 10% Rabatt
Autoren:
Gerken, Anna; Paul, Johannes (Sensitec GmbH, Mainz, Deutschland)
Negulescu, Beatrice (Institute Jean Lamour, Universität Nancy, Vandoeuvre lès Nancy, Frankreich)
Duret, Christophe (SNR Bearings, Mechatronics, Annecy, Frankreich)
Inhalt:
TMR-Sensoren bieten aufgrund ihrer hohen Sensitivität große Vorteile für verschiedenste Anwendungen, beispielsweise zur Positions- und Geschwindigkeitsmessung. Daher arbeitet die Sensitec GmbH im Rahmen zweier Kooperationsprojekte daran, TMR-Schichtsysteme für Sensoranwendungen zu optimieren. Dabei werden zwei unterschiedliche Ansätze verfolgt: Zum einen wird ein auf Al2O3-Technologie basierender Sensor entwickelt, der eine lineare Kennline im Bereich von +/- 100 Oe bei einer Amplitude von 40% aufweist. Zum anderen wird an einem Schichtsystem auf der Basis von MgO-CoFeB gearbeitet, das weit höhere TMR-Amplituden verspricht. Bisher wurden mit diesem System TMR-Werte bis zu 100% bei Raumtemperatur erzielt.