Hochauflösender flüssigkeitsbasierter kapazitiver Neigungssensor
Konferenz: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009
12.10.2009 - 14.10.2009 in Berlin
Tagungsband: MikroSystemTechnik
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Schwenck, A.; Fritz, K.-P.; Kück, H.; Mayer, V. (Institut für Mikroaufbautechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft (HSG-IMAT), Allmandring 9b, 70569 Stuttgart)
Fries, A.; Kück, H.; Pojtinger, A.; Remer, U. (2E mechatronic GmbH & Co. KG, Maria-Merian-Straße 29, 73230 Kirchheim unter Teck)
Inhalt:
Zur Messung von Neigungen und Verkippungen wurde am HSG-IMAT ein flüssigkeitsbasierter Sensor mit kapazitivem Messprinzip erarbeitet. Die erste Sensorgeneration wurde in semiadditiver MID-Technik aufgebaut, wobei ein geeigneter Herstellungs-, Füge- und Befüllprozess etabliert wurde. Der Sensor zeichnet sich durch eine hohe Linearität und Genauigkeit im Bereich bis ±70Grad aus. Darüber hinaus wurde eine einfache Möglichkeit zur Temperaturkompensation aufgezeigt und sowohl die Querneigungsempfindlichkeit als auch die Langzeitstabilität des Sensors untersucht. Aufbauend auf den Erkenntnissen wurde dann in Zusammenarbeit mit der Firma 2E mechatronic GmbH & Co. KG eine flexible, leiterplattenbasierte Aufbautechnologie entwickelt und in die Serienproduktion überführt.