Taktile Messtechnik an Mikrobohrungen mit hohem Aspektverhältnis

Inhalt:
Piezoresistive Mikrocantileversensoren mit außergewöhnlich schlanker Bauform wurden für Tastschnittmessungen an Kraftstoffeinspritzdüsen eingesetzt und auf ihre Eignung als aktive Tastsonden für Formmessungen an Mikrostrukturen mit hohem Aspektverhältnis hin charakterisiert. Sehr reproduzierbar wurden Wandrauhigkeiten um 0,4 µm festgestellt, wobei 1 mm-tiefe Bohrungen innerhalb von weniger als 1 s abgetastet wurden. In Kombination mit einem geringen Verschleiß und hoher Überlastbarkeit zeigen diese Ergebnisse, dass mit dem Sensor die gegenwärtige Lücke an Verfahren der Geometrie- und Formmesstechnik für Mikrosystemkomponenten geschlossen werden kann.