MEMS Foundry - Erfordernisse und Herausforderungen

Konferenz: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009
12.10.2009 - 14.10.2009 in Berlin

Tagungsband: MikroSystemTechnik

Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF

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Autoren:
Merz, P.; Wagner, B.; Dudde, R.; Benecke, W. (Fraunhofer-Institut für Silizium Technologie ISIT, Fraunhoferstraße 1, 25524 Itzehoe, Germany)

Inhalt:
Obwohl sich MEMS Foundries zwar produktionstechnisch aus der konventionellen Halbleitertechnologie ableiten, sind im Vergleich zu einer CMOS Foundry doch wesentliche Unterschiede im Geschäftskonzept erkennbar. Neben der Bereitstellung gängiger Standardtechnologien zeichnet sich eine MEMS Foundry insbesondere durch die Dienstleistung von produktorientierten Spezialprozessen ab. Zudem sind oftmals enge Kunden-Lieferanten Bindungen vorhanden. In dem Beitrag werden Eigenschaften einer MEMS Fabrikation aufgezeigt und wesentliche Erfordernisse und Herausforderungen einer MEMS Foundry erläutert.