Anwendungen nanostrukturierter Grenzflächen in Mikrosystemen am Beispiel von Si-Gras und Herausforderungen für die Forschung
Konferenz: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009
12.10.2009 - 14.10.2009 in Berlin
Tagungsband: MikroSystemTechnik
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Hoffmann, Martin (Technische Universität Ilmenau, IMN MacroNano(R), Fachgebiet Mikromechanische Systeme, Max-Planck-Ring 12, 98693 Ilmenau)
Inhalt:
Die Mikro-Nano-Integration bietet neue Chancen für neue Mikrosysteme durch Nutzung von Nanostrukturen. Am Beispiel des Si-Grases, das in einem selbstmaskierenden Prozess durch Ätzen erzeugt wird, werden exemplarisch einige Applikationen aufgezeigt. Die Spanne von der Basistechnologie bis zur Anwendung / Produktion ist ein gutes Beispiel für die Herausforderungen der Mikro-Nano-Integration, denen sich auch der Fachausschuss 4.7 der GMM stellt. Hier tauschen sich Forscher und Anwender der Mikro-Nano-Integration aus, um neue Funktionen in Mikrosystemen marktfähig weiterzuentwickeln.