Optische Wellenleiter aus amorphem Silizium
Konferenz: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009
12.10.2009 - 14.10.2009 in Berlin
Tagungsband: MikroSystemTechnik
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Lipka, Timo; Harke, Alexander; Horn, Oliver; Amthor, Julia; Müller, Jörg (Technische Universität Hamburg-Harburg, Eißendorferstr. 42, 21073 Hamburg, Deutschland)
Inhalt:
In diesem Paper werden verschieden dimensionierte verlustarme amorphe Siliziumwellenleiter, deren Herstellung und materialspezifische Eigenschaften des Materials vorgestellt. Des Weiteren werden 3D-Taper für eine verbesserte Lichteinkopplung in sub-µm Wellenleiter präsentiert.