Ein Mikromassenspektrometer mit integrierter Mikrokanalplatte
Konferenz: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009
12.10.2009 - 14.10.2009 in Berlin
Tagungsband: MikroSystemTechnik
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Reinhardt, Maria; Hauschild, Jan-Peter; Wapelhorst, Eric; Müller, Jörg (Technische Universität Hamburg-Harburg, Institut für Mikrosystemtechnik, Eißendorferstr. 42, 21073 Hamburg)
Inhalt:
Es werden Messungen mit einem vollständig planar integrierten Mikromassenspektrometer (PIMMS) vorgestellt sowie dessen weiterentwickelte Strukturen. Zu den strukturellen Veränderungen gehören unter anderem: ein längerer Massenseparator und die Integration einer Mikrokanalplatte zur Verstärkung des Ionenstromes. Das PIMMS mit seiner geringen Größe von 70mm2 wurde mit Standardprozessen der Mikrosystemtechnik hergestellt. Das System wird in einer Glas-Silizium-Glas-Kombination aufgebaut. Alle wichtigen Strukturen werden dabei durch einen anisotropen Ätzprozess in die Siliziumschicht eingebracht.