Optimierung der Ansteuerung des SIS-Massenseparators im planar integrierten Mikro-Massenspektrometer

Konferenz: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009
12.10.2009 - 14.10.2009 in Berlin, Germany

Tagungsband: MikroSystemTechnik

Seiten: 4Sprache: EnglischTyp: PDF

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Autoren:
Quiring, Grigoriy; Hauschild, Jan-Peter; Wapelhorst, Eric; Müller, Jörg (Technische Universität Hamburg-Harburg, Institut für Mikrosystemtechnik, Eißendorferstr. 42, 21073 Hamburg)

Inhalt:
Vorgestellt wird ein Signalgenerator, der für die Ansteuerung des „Synchronous-Ion-Shield“-(SIS)-Massenseparators im planar integrierten Mikro-Massenspektrometer (PIMMS) entwickelt wurde. Der Generator eignet sich sowohl zum Betrieb als auch für die experimentelle Ermittlung der optimalen Betriebsparameter des SIS. Der Generator erzeugt basierend auf synchronisierten DDS-Bausteinen (Direct Digital Synthesis) vier Rechtecksignale, deren Frequenz, Tastverhältnis, Amplitude und Phasenversatz einstellbar sind. Um die erzeugten Signale zum PIMMS in den Vakuumrezipienten einzuleiten und die Leitungslängen möglichst kurz zu halten, wurde ein neues Rezipientenkonzept umgesetzt. Eine Multi-Layer-Leiterbahnplate dient zugleich als Signaldurchführung und Vakuumdichtung. Bisher wurde für die Ansteuerung ein handelsüblicher Signalgenerator verwendet. Bereits die ersten Versuche des neuen Generators mit zunächst theoretisch ermittelten Werten zeigten eine Verdopplung der Auflösung der aufgezeichneten Spektren.