Aufbau eines statischen low-cost Fourierspektrometers
Konferenz: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009
12.10.2009 - 14.10.2009 in Berlin
Tagungsband: MikroSystemTechnik
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Buse, Oliver; Reithmeier, Eduard (Institut für Mess- und Regelungstechnik, Nienburgerstr. 17, 30167 Hannover, Leibniz Universität Hannover)
Inhalt:
Mithilfe eines 5-Achs-Ultrapräzisionsbearbeitungszentrums soll ein Mikrostufenspiegel für ein neuartiges, statisches Fouriertransformationsspektrometer hergestellt werden. Die Vorteile der konventionellen Fourier-Spektroskopie, wie hohes Auflösungsvermögen und Miniaturisierbarkeit können so mit der Robustheit moderner Mikrogitterspektrometer kombiniert werden. Für Low-Cost-Anwendungen soll der gefräste Mikrospiegel mithilfe der Heißprägeanlage HEX03 in Kunststoff vervielfältigt werden.