Paramagnetischer Sauerstoffsensor in Mikrosystemtechnik

Inhalt:
Dieser Beitrag beschreibt einen neuartigen paramagnetischen Sauerstoffsensor in Mikrosystemtechnologie. Die paramagnetische Eigenschaft des Sauerstoffs wird genutzt um das zu messende Gas je nach Sauerstoffgehalt mittels eines Magneten in einen Messkanal umzulenken und dort die von der Sauerstoffkonzentration abhängige Flussgeschwindigkeit mithilfe von Thermoanemometern zu bestimmen. Durch die Verwendung von Thermoanemometern zur Messung der Flussgeschwindigkeit verfügt der Sensor über keine beweglichen Komponenten, so dass ein Einsatz in mobilen Geräten wie zum Beispiel Beatmungsgeräten realisierbar ist.