Dünnschichtsensorik auf Titandioxidbasis zur Messung von Sauerstoffkonzentrationen bei niedrigen Temperaturen
Konferenz: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009
12.10.2009 - 14.10.2009 in Berlin
Tagungsband: MikroSystemTechnik
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
Persönliche VDE-Mitglieder erhalten auf diesen Artikel 10% Rabatt
Autoren:
Biehl, Saskia; Hauschild, Frank; Wolf, Lisa (Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik, Bienroderweg 54 E, 38108 Braunschweig, Deutschland)
Inhalt:
Die typischen Betriebstemperaturen von Gassensoren zur Sauerstoffdetektion liegen zwischen 350 °C und 1000 °C. Um die möglichen Anwendungsgebiete zu erweitern ist es notwendig die Betriebstemperatur, bei Aufrechterhaltung der Empfindlichkeit, zu verringern. Das Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik (IST) entwickelt daher Dünnschichtsensorsysteme, deren Betriebstemperaturen zwischen 150 °C und 250 °C liegen.