Nanopositionier- und Nanomessmaschinen – universelle skalenübergreifende Werkzeuge von Makro bis Nano

Inhalt:
Die Beherrschung der Nanopositionier- und Nanomesstechnik in makroskopischen Arbeitsräumen ist eine essenzielle Voraussetzung für die skalen- und domänübergreifende Technologieverschmelzung von Makro bis Nano. An der TU Ilmenau werden im Sonderforschungsbereich 622 hierzu die Grundlagen erarbeitet. Gegenwärtig sind Messungen in einem Volumen von 25 mm x 25 mm x 5 mm mit 0,1 nm Auflösung realisierbar. Verschiedene optische und mechanische Antastsysteme mit Nanometerpräzision stehen zur Verfügung. An einer Maschine NPMM 200 mit 200 mm x 200 mm x 25 mm und einer Auflösung von 0,08 nm wird gearbeitet. Es werden weitere Sensoren und Tools entwickelt.