Selbstorganisierte Nanostrukturen in Kieselglas für neue Technologiekonzepte in MEMS, MOEMS und BioMEMS

Inhalt:
Die Nutzung von Selbstorganisationsprozessen in Niederdruckplasmen für etablierte Technologieabläufe von MEMS, MOEMS und BioMEMS ist eine effiziente Methode um auch großflächig nanostrukturierte Oberflächen zu erzeugen. Häufig kommen dabei selbstmaskierende Nanodots in Verbindung mit subtraktiven Verfahren (Ätzen) zum Einsatz. So hergestellte nadelförmige Strukturen in Silizium, sogenanntes „Black Silicon“, werden bereits in katalytischen, mikrooptischen, sowie mechanischen Mikro- und Nanosystemen eingesetzt. In diesem Beitrag werden geometrisch ähnliche Strukturen aus Kieselglas vorgestellt, die eine Übertragung von „Black Silicon“-Anwendungen auf dieses wichtige Basismaterial der Mikrotechnik erlauben. Durch eine Parameterstudie kann neben einer gezielten Variation der morphologischen Eigenschaften zusätzlich eine noch größere Bandbreite gegenüber Silizium erreicht werden.h