Dünnfilmtechnische Herstellung eines rotierenden Synchronmotors

Inhalt:
Frühe Arbeiten an rotierenden Mikromotoren zeigten, dass es schwierig ist, mittels Dünnfilmtechik im Opferschichtverfahren brauchbare, tribologisch belastbare Lagerungen zu schaffen. Mit den hier vorgestellten Arbeiten soll ein Weg aufgezeigt werden, wie dies möglich ist: durch die Kombination eines hybriden Aufbaus mit einer feinwerktechnischen Lagerung. Hierzu wurde ein rotierender Synchronmotor entwickelt, dessen Stator dünnfilmtechnisch gefertigt ist, der einen diskreten, hartmagnetischen Rotor besitzt und dessen Lagerung auf Saphirkugeln erfolgt.