Design, Fertigung und messtechnische Untersuchungen eines Mikroreluktanzaktors
Konferenz: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009
12.10.2009 - 14.10.2009 in Berlin
Tagungsband: MikroSystemTechnik
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Hansen, S.; Gatzen, H. H. (Institut für Mikrotechnologie, Produktionstechnisches Zentrum Leibniz Universität Hannover, An der Universität 2, 30823 Garbsen)
Bütefisch, S. (Physikalisch Technische Bundesanstalt, Bundesallee 100, 38116 Braunschweig)
Inhalt:
Zum Einsatz als miniaturisierter Linearmotor wurde ein linearer Mikroreluktanzaktor entwickelt. Für den Aufbau sowohl des Ständers, als auch des Läufers kommt Dünnfilmtechnik zum Einsatz. Als Material für den magnetischen Kreis wird NiFe45/55 verwendet und als Spulenmaterial Cu. Als Isolatormaterialien dienen sowohl das fotosensitive Epoxidharz SU-8(TM) und Si3N4. Der Beitrag beschreibt die Fertigung des Aktors sowie die experimentelle Erprobung.