Auslenkbare SiO2-Membranen zur Abstimmung von Si-Nanowires
Konferenz: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009
12.10.2009 - 14.10.2009 in Berlin, Germany
Tagungsband: MikroSystemTechnik
Seiten: 4Sprache: EnglischTyp: PDF
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Autoren:
Amthor, Julia; Horn, Oliver; Lipka, Timo; Savov, Angel; Müller, Jörg (TU Hamburg-Harburg, Institut für Mikrosystemtechnik, Hamburg, Deutschland)
Inhalt:
In dieser Arbeit wird ein elektrostatisch auslenkbares SiO2-Membransystem präsentiert, das die thermo-optische und elasto-optische Abstimmung von photonischen Silizium Nanowires erlaubt. Mit diesem Membransystem ist ein optischer Schalter mit weniger als 1 mW Schaltleistung realisiert worden.