Nanoprägen in Polymerfolien als Fertigungsverfahren für fluidische Mikro-Nano-Systeme
Konferenz: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009
12.10.2009 - 14.10.2009 in Berlin
Tagungsband: MikroSystemTechnik
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
Persönliche VDE-Mitglieder erhalten auf diesen Artikel 10% Rabatt
Autoren:
Schleunitz, Arne (Labor für Mikro- und Nanotechnologie, Paul Scherrer Institut, Villigen PSI, Schweiz)
Senn, Tobias; Löchel, Bernd (Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH, Berlin, Deutschland)
Datta, Proyag; Göttert, Jost (Center for Advanced Microstructures & Devices, Louisiana State University, Baton Rouge, USA)
Giselbrecht, Stefan; Reinhardt, Martina (Institut für Biologische Grenzflächen, Forschungszentrum Karlsruhe, Eggenstein-Leopoldshafen, Deutschland)
Inhalt:
Um die Funktionalität der Mikrosystemtechnik durch die Integration von Submikrometer und Nanometerstrukturen in sogenannte Mikro-Nano-Systeme erweitern zu können, müssen industriekompatible Produktionstechnologien entwickelt werden, die eine Strukturierung im Mikro- und Nanometerbereich für ein breites Nutzerspektrum ermöglichen und für eine Fertigung von mikro- und nanostrukturierten Komponenten auch im industriellen Einsatz in Frage kommen. Die Intention der vorliegenden Arbeit ist es, für diese technologische Aufgabenstellung einen möglichen Lösungsansatz durch Untersuchungen zum Nanoprägen als ein für die Nanostrukturierung von Kunststoffen adaptiertes Heissprägeverfahren weiterzuentwickeln und den enormen Nutzen des Verfahrens für die Fertigung fluidischer Mikro-Nano-Systeme durch Applikationsbeispiele aus dem Bereich der Life-Sciences zu veranschaulichen.